

ギガフォトン株式会社は、コマツとウシオ電機のエキシマレーザ事業を統合した合弁会社として2000年に設立された若い会社ですが、両社が培ってきたレーザ製品技術開発における長年の経験と実績を継承しています。
コマツのレーザ技術の歴史は、エンジンの燃焼診断にCARS(Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy:色素レーザ=Dye Laser)を用いたシステムを発売した、1980年までさかのぼります。これ以降、コマツはエキシマレーザの研究開発に移行し、1985年には日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売しました。

1984年 東京大学物性研とコマツでKrF,90Hzエキシマレーザを共同開発
(出典: 日本工業新聞)
コマツは1996年にエキシマレーザ事業部を発足後、1997年には栃木県小山市にエキシマレーザ生産工場を設立。同年に量産型1 kHz KrFエキシマレーザ KLES-G10K(現G10Kシリーズ)を発売しました。1998年には、2 kHz KrFエキシマレーザ G20Kシリーズを発売し、日本・アジア地域を中心に順調にシェアを伸ばしました(1999年当時の露光用エキシマレーザ市場シェアは世界2位)。
一方、ウシオ電機は1997年に、水銀ランプにつづく露光用光源としてエキシマレーザの開発を開始、1999年には4 kHz ArFエキシマレーザを発表しました。
2000年に、露光用エキシマレーザ市場の競争が激化する中、日本のエキシマレーザ技術を統合し、商品力・顧客サポート力を強化すべく、コマツとウシオ電機がエキシマレーザ事業を統合、合弁会社としてギガフォトン株式会社を設立しました。コマツとウシオ電機はかねてより、日本の技術研究組合「超先端電子技術開発機構(Association of Super Advanced Electronics Technologies; ASET)」のF2リソグラフィプロジェクトにおいて協力関係にあったこともあり、急速な事業統合が実現したものです。
創立以後、ギガフォトンは2001年に4 kHz ArFエキシマレーザG40Aシリーズ、2002年に4 kHz KrFエキシマレーザG40Kシリーズを発売し、日本をはじめアジア市場を中心に、露光用エキシマレーザを供給・サポートしています。ギガフォトンのG40Kシリーズは好評をいただき、アジア地域のマーケットシェアを大幅に拡大しています。
2004年末には、来るべき液浸ArF露光に対応する、インジェクションロック方式ArFエキシマレーザ GT40Aを発表しました。さらに、ArF露光の次世代候補(NGL)となるEUV露光の開発においては、現在「技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association; EUVA)」の開発に参加し、露光用光源の開発において、重要な役割を担っています。
| 1970 | 世界で初めてエキシマレーザ発振に成功(ソ連) |
| 1980 | コマツ、CARS(Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy)を応用したエンジン燃焼診断システム発売 |
| 1985 | コマツ、KrFエキシマレーザKLE-630(日本初のエキシマレーザ装置)発売 |
| 1987 | コマツ、KLE-630S(2 W):世界初の露光用KrFエキシマレーザ発売 |
| 1988 | Lambda Physik社が露光用エキシマレーザ市場に参入 |
| 1989 | Cymer社が露光用エキシマレーザ市場に参入 |
| 1992 | コマツ、KLES-G6(600 Hz, KrF, 6 W)発売 |
| 1995 | コマツ、KLES-G7(600 Hz, KrF, 7.5 W)発売 コマツ、KLES-G1A(400 Hz, ArF, 1 W)発売 |
| 1996 | コマツ、エキシマレーザ事業部発足 |
| 1997 |
コマツ、エキシマレーザ生産工場を小山に設立 コマツ、KLES-G10K(1 KHz, KrF, 10 W) 量産型KrFエキシマレーザ発売 ウシオ電機、露光用エキシマレーザの研究開発開始 |
| 1998 | コマツ、G20K(2 kHz, KrF, 20 W )発売 |
| 1999 | ウシオ、4 kHz ArFエキシマレーザ発表 |
| 2000 | ギガフォトン株式会社設立 |
| 2001 | ギガフォトン、G40A(4 kHz, ArF, 20 W )発売 |
| 2002 | ギガフォトン、資本金を50億円に増資 |
| 2003 | ギガフォトン、G40K(4 kHz, KrF, 30 W)発売 |
| 2004 | ギガフォトン、GT40A(4 kHz, ArF, 45 W)発表 |
| 2005 | ギガフォトン、GT60A(6 kHz, ArF, 60 W)発表 |
| 2006 | ギガフォトン、GT61A(6 kHz, ArF, 60 W)発表 |
| 2007 | 小山に新棟オープン ギガフォトン、GT62A(6 kHz, ArF, 90 W)発表 |
| 2008 | ギガフォトン、米国子会社「Gigaphoton USAInc.」を設立 |