ギガフォトン株式会社は、コマツとウシオ電機のエキシマレーザ事業を統合した合弁会社として2000年に設立された若い会社ですが、両社が培ってきたレーザ製品技術開発における長年の経験と実績を継承しています。

コマツのレーザ技術の歴史は、エンジンの燃焼診断にCARS（Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy：色素レーザ=Dye Laser）を用いたシステムを発売した、1980年までさかのぼります。これ以降、コマツはエキシマレーザの研究開発に移行し、1985年には日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売しました。

1984年　東京大学物性研とコマツでKrF,90Hzエキシマレーザを共同開発
(出典: 日本工業新聞)

コマツは1996年にエキシマレーザ事業部を発足後、1997年には栃木県小山市にエキシマレーザ生産工場を設立。同年に量産型1 kHz KrFエキシマレーザ　KLES-G10K(現G10Kシリーズ)を発売しました。1998年には、2 kHz KrFエキシマレーザ　G20Kシリーズを発売し、日本・アジア地域を中心に順調にシェアを伸ばしました（1999年当時の露光用エキシマレーザ市場シェアは世界2位）。

一方、ウシオ電機は1997年に、水銀ランプにつづく露光用光源としてエキシマレーザの開発を開始、1999年には4 kHz　ArFエキシマレーザを発表しました。

2000年に、露光用エキシマレーザ市場の競争が激化する中、日本のエキシマレーザ技術を統合し、商品力・顧客サポート力を強化すべく、コマツとウシオ電機がエキシマレーザ事業を統合、合弁会社としてギガフォトン株式会社を設立しました。コマツとウシオ電機はかねてより、日本の技術研究組合「超先端電子技術開発機構(Association of Super Advanced Electronics Technologies; ASET)」のF2リソグラフィプロジェクトにおいて協力関係にあったこともあり、急速な事業統合が実現したものです。

創立以後、ギガフォトンは2001年に4 kHz　ArFエキシマレーザG40Aシリーズ、2002年に4 kHz KrFエキシマレーザG40Kシリーズを発売し、日本をはじめアジア市場を中心に、露光用エキシマレーザを供給・サポートしています。ギガフォトンのG40Kシリーズは好評をいただき、アジア地域のマーケットシェアを大幅に拡大しています。

2004年末には、来るべき液浸ArF露光に対応する、インジェクションロック方式ArFエキシマレーザ　GT40Aを発表しました。さらに、ArF露光の次世代候補(NGL)となるEUV露光の開発においては、現在「技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association; EUVA)」の開発に参加し、露光用光源の開発において、重要な役割を担っています。