ギガフォトン

沿革

ギガフォトン株式会社は、コマツとウシオ電機のエキシマレーザ事業を統合した合弁会社として2000年に 設立された若い会社ですが、両社が培ってきたレーザ製品技術開発における長年の経験と実績を継承し ています。

コマツのレーザ技術の歴史は、エンジンの燃焼診断にCARS(Coherent Anti-Stokes RamanSpectroscopy:色素レーザ=Dye Laser)を用いたシステムを発売した、1980年までさかのぼります。これ以降、コマツはエキシマレーザの研究開発に移行し、1985年には日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売しました。

東京大学物性研とコマツでKrF,90Hzエキシマレーザを共同開発
1984年 東京大学物性研とコマツでKrF,90Hzエキシマレーザを共同開発
(出典: 日本工業新聞)

コマツは1996年にエキシマレーザ事業部を発足後、1997年には栃木県小山市にエキシマレーザ生産 工場を設立。同年に量産型1 kHz KrFエキシマレーザ KLES-G10K(現G10Kシリーズ)を発売しまし た。1998年には、2 kHz KrFエキシマレーザ G20Kシリーズを発売し、日本・アジア地域を中心に順調 にシェアを伸ばしました。

2000年にギガフォトン株式会社を設立し、2001年に4 kHz ArFエキシマレーザG40Aシリーズ、2002年に 4 kHz KrFエキシマレーザG40Kシリーズを発売しました。

2004年末には液浸ArF露光に対応するインジェクションロック方式ArFエキシマレーザGT40Aを発売し、 2005年には発振周波数が1.5倍の6,000 HzとなるGT60A、2006年にはスペクトル幅及び運用コストを 大幅に改善したGT61A、2007年には液浸二重露光に対応した90ワットの出力となるGT62Aと 次々と新商品を発売しております。

次世代光源(NGL)と期待されているEUV露光用光源の開発においては「技術研究組合極端紫外線 露光システム技術開発機構(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association; EUVA)」に参加し、LPP方式の技術発展に大きく貢献しました。

2011年5月、コマツが当社の50%株式をウシオより買い取ったことにより、当社はコマツ の全額出資の子会社となり、EUV光源の量産実用化に向けて、製品開発に取り組んでいます。

エキシマレーザ技術の歴史とギガフォトンの沿革(年表)

1970 世界で初めてエキシマレーザ発振に成功(ソ連)
1980 コマツ、CARS(Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy)を応用したエンジン燃焼診断システム発売
1985 コマツ、KrFエキシマレーザKLE-630(日本初のエキシマレーザ装置)発売
1987 コマツ、KLE-630S(2 W):世界初の露光用KrFエキシマレーザ発売
1988 Lambda Physik社が露光用エキシマレーザ市場に参入
1989 Cymer社が露光用エキシマレーザ市場に参入
1992 コマツ、KLES-G6(600 Hz, KrF, 6 W)発売
1995 コマツ、KLES-G7(600 Hz, KrF, 7.5 W)発売
コマツ、KLES-G1A(400 Hz, ArF, 1 W)発売
1996 コマツ、エキシマレーザ事業部発足
1997
コマツ、エキシマレーザ生産工場を小山に設立
コマツ、KLES-G10K(1 KHz, KrF, 10 W) 量産型KrFエキシマレーザ発売
1998 コマツ、G20K(2 kHz, KrF, 20 W )発売
1999 ウシオ、4 kHz ArFエキシマレーザ発表
2000 ギガフォトン株式会社設立
2001 ギガフォトン、G40A(4 kHz, ArF, 20 W )発売
2002 ギガフォトン、資本金を50億円に増資
2003 ギガフォトン、G40K(4 kHz, KrF, 30 W)発売
2004 ギガフォトン、GT40A(4 kHz, ArF, 45 W)発表
2005 ギガフォトン、GT60A(6 kHz, ArF, 60 W)発表
2006 ギガフォトン、GT61A(6 kHz, ArF, 60 W)発表
2007 小山に新棟オープン
ギガフォトン、GT62A(6 kHz, ArF, 90 W)発表
2008 ギガフォトン、米国子会社「Gigaphoton USAInc.」を設立
2009 ギガフォトン、第1回レーザ学会産業賞のシステム部門でインジェクションロックArFエキシマレーザGT62Aが「優秀賞」受賞
2010 ギガフォトン、EUV光源で出力100W超を達成
2011 コマツが当社50%株式をウシオより買い取ったことにより、コマツ全額出資の子会社となる