ギガフォトンは2001年、4 kHzの高周波数発振を可能とする、量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化しました。その後、高性能露光装置に対応した最新型ArFエキシマレーザを次々と市場に供給し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィー技術の発展に貢献しています。

2003年以降マーケットシェアを大きく伸ばし、日本を含むアジア市場ではエキシマレーザのトップ企業として認知されているほか、欧米市場でも急成長を続けています。