產品

2001 年,GIGAPHOTON 領先世界,實現可激發 4 kHz 高頻之量產型 ArF 準分子雷射裝置商品化。其後更持續向市場供應支援高功能曝光裝置的最新型 ArF 準分子雷射裝置,於 Gigabit 世代超微積體回路的微影技術發展多有貢獻。

此外,KrF 準分子雷射以其豐富產品線及高性能、高品質、高實惠性廣獲佳評,為全球各曝光裝置製造業者技術競爭力的後盾。

Gigaphoton DUV in Lithography Light Source:

Gigaphoton EUV in Lithography Light Source: