GIGANEX Series

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

* 未來的機殼示意圖。亦可能因本公司因素而在未經預告下變更。

Gigaphoton的GT系列融合新技術,是最尖端的準分子雷射

集結了Gigaphoton至今製造半導體微影用光源準分子雷射所獲得的技術與知識,並融合客戶的技術而重新製作出來的GIGANEX,作為高性能的DUV光源,我們確信,即使是在半導體微影之外的領域,也能產生新的變革。

期望的應用領域
FPD製造程序、可撓性元件製造程序、半導體製造程序

用於雷射退火的高輸出準分子雷射

設計於Gigaphoton的GT平台上,GIGANEX系列講求最大限度的通用化,因此可以指望其高信賴性。此外,也繼承了GT的高輸出、高震盪頻率特性,可以期待它實現最適於雷射退火的設計。

 

高發射型準分子雷射

主規格*1 450W Type 600W Type
波長 (nm) 193 248 351 193 248 351
平均輸出 (W) 450 450 450 600 600 600
脈衝能量 (mJ) 75 75 75 100 100 100
發射頻率 (Hz) 6,000 6,000 6,000 6,000 6,000 6,000
脈衝寬幅 (ns) 40 – 100 40 – 100 40 – 100 40 – 100 40 – 100 40 – 100
穩定性 σ < 2% < 2% < 2% < 2% < 2% < 2%
模組維護間隔 450W Type 600W Type
雷射腔更換 (Bpls) 60 60 60 60 60 60
反射鏡更換 (Bpls) 60 60 60 60 60 60
其他 450W Type 600W Type
雷射主機尺寸 (mm) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH)
重量 (kg) 3,410 3,410
示範處理 準備中*2 2017年*3
預定發表 2017年*3 2018年*3

 

高輸出低發射型雷射

主規格*1 600W Type
波長 (nm) 193 248 308 351
平均輸出 (W) 600 600 600 600
脈衝能量 (mJ) 1000 1000 1000 1000
發射頻率 (Hz) 600 600 600 600
脈衝寬幅 (ns) 15 – 20 15 – 20 15 – 20 15 – 20
穩定性 σ < 2% < 2% < 2% < 2%
模組維護間隔 600W Type
雷射腔更換 (Bpls) 6 6 6 6
反射鏡更換 (Bpls) 6 6 6 6
其他 600W Type
雷射主機尺寸 (mm) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH)
重量 (kg) 3,510
示範處理 未定
預定發表 未定

 


  1. 主規格可能因本公司因素而在未經預告下變更。敬請見諒。
  2. 若您有興趣,請聯繫本公司工作人員。
  3. 可能因市場需求或本公司因素而變更。敬請見諒。