最新技術で既存装置の継続的価値向上をサポート

栃木県小山市; 2015年10月1日—リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、既設の量産露光装置ラインに接続されている旧型のエキシマレーザー光源を最新型機種に置き換える、新しいレーザーアップグレードビジネスを受注し、納入したことを発表しました。置き換えの対象となるレーザーはメーカーを問わず、KrFレーザーの初期モデルからArFの液浸露光装置用レーザーまでをカバーしており、複数の地域および顧客に納入されました。

IoTビジネスの興隆に伴い、通信用チップ・センサやMEMSを生産する200mm工場の稼働率が世界的に高まる中、既存の装置のアップグレードにより生産性の向上を目指す動きが強まっています。また、旧型レーザーは運転コストやメンテナンスのためのダウンタイム頻度が高く、これらを削減することも課題となっていました。
このたびギガフォトンが受注・納入したビジネスは、このようなお客様のニーズと課題を解決するもので、旧型レーザーと同じ波長の最新型レーザーをギガフォトンが出荷し、旧型レーザーと入れ替えるものです。このレーザーアップグレードにより、既存の露光装置の生産性向上、および運転コストやダウンタイムの大幅削減が見込まれます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「量産DUVリソグラフィプロセスが登場して20年がたち、今日、世界の量産工場において、4000台を超えるレーザーが稼働しております。これらのレーザーのアップグレードに対するお客様の期待が高まっていることから、将来的にはこのようなビジネスが、新規レーザーと同等の規模まで市場が広がることを期待しています。このたびの受注によって、我々が提供する最新技術が、お客様の装置の性能を改善して量産工場のアウトプットを高めると同時に、運転コストを大幅に削減できることは、我々のHVMサポートのミッションに沿った重要な成果と考えています。今後も引き続き世界の量産工場の継続的価値向上に貢献していきます。」

ギガフォトンについて
2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。

ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを目指しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

報道関係者向けの連絡窓口: 
ギガフォトン株式会社
経営企画部
TEL: 0285-37-6931
E-MAIL: web_info@gigaphoton.com

Supporting continuous value improvement of existing equipment through cutting-edge technologies

OYAMA, Japan; October 1, 2015 — Gigaphoton Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President and CEO: Hitoshi Tomaru), a leading manufacturer of light sources used in lithography, has announced the order and delivery of laser upgrades in a new business offering. Through this, the company has replaced existing excimer laser light sources connected to existing exposure devices in a mass production line with new state-of-the-art models. Regardless of manufacturer, Gigaphoton is capable of replacing lasers ranging from early KrF models to lasers used in ArF immersion lithography, and has built a track record of delivering these to a myriad of customers and locations.
Along with the rise of IoT-based business, the operating rates of 200 mm foundries producing communication chip sensors and MEMS continues to improve. Against this backdrop there is a growing trend to pursue productivity improvement by upgrading existing equipment. Reducing operating cost and the frequency of downtime caused by maintenance with older lasers has also become a pressing concern for customers.
The latest business offering delivered by Gigaphoton solves the needs and challenges of such customers, which is accomplished by the delivery and replacement of older lasers with the newest model matching their wavelength. This laser upgrade results in higher productivity in existing lithography equipment, while providing significantly lower projected operating costs and downtime.
Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton says, “It has been 20 years since the advent of the mass production DUV lithography process, and today over 4000 lasers are in operation in production plants around the world. Given the growing expectations of customers regarding these laser upgrades, we anticipate the market of this business to grow to a scale equaling that of new lasers. The state-of-the-art technology that we provide improves the performance of customer’s equipment and boosts the output of mass production plants while greatly reducing operating costs at the same time. We believe this is an important achievement in line with our mission to provide our customers with HVM (high-volume manufacturing) support. We intend to continue contributing to continuous value improvement at mass production plants around the world.

About Gigaphoton
Since its founding in 2000, Gigaphoton has been developing and providing user-friendly, high-performance DUV laser light sources for leading semiconductor manufacturers in North America, Europe, and every corner of Asia.
Gigaphoton aims to become the world’s number one provider of superior lithography light sources, which are vital in high-volume manufacturing (HVM) where productivity and cost-effectiveness are paramount. Gigaphoton consistently focuses on the needs of end-users with an aim to provide the highest reliability in the industry with world-class customer support in every aspect from the R&D stage through to manufacturing. For more information please visit www.gigaphoton.com.

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支持运用尖端技术对现有设备进行持续的价值提升

日本小山; 2015年10月1日–领先的光刻光源制造商Gigaphoton Inc.(总公司:日本栃木县小山市;总裁兼首席执行官:都丸仁(Hitoshi Tomaru))宣布推出一项新业务,接受激光器升级订单并提供交付。这样,公司已经运用最先进的新型号取代量产生产线中与现有曝光设备相连接的现有准分子激光器光源。从早期的KrF型号到用于ArF浸没式光刻技术的激光器,无论设备是出于哪家制造商,Gigaphoton均可对激光器进行更换,而且Gigaphoton已创造为无数客户和地点提供激光器升级的非凡业绩。

随着物联网业务的兴起,生产通信芯片传感器和微机电系统(MEMS)的200毫米晶圆代工厂的开工率得到不断提高。在这一背景下,升级现有设备以提高生产力成为日渐盛行的一大趋势。减少运营成本以及维护旧激光器造成的停机频率也成为客户面临的紧迫问题。

Gigaphoton提供的最新业务解决了这些客户的需求和挑战,即用与客户旧激光器波长相匹配的最新型号替换其旧激光器。这一激光器升级能使现有光刻设备实现更高的生产率,同时显著降低预期运营成本和停机时间。

Gigaphoton总裁兼首席执行官都丸仁表示:“大批量生产DUV光刻工艺问世已有20年的时间,如今,全球生产工厂中运转着4000多台激光器。鉴于客户对激光器升级的期待日渐提高,我们预计该市场将增长至与新激光器业务市场相当的规模。公司提供的最先进技术增强了客户设备的性能,提高了批量生产工厂的产量,同时大大降低运营成本。我们相信这是一项重大成就,符合我们为客户提供HVM(大批量制造)支持的使命。我们计划继续为提升世界各地大批量生产企业的持续价值提升贡献力量。

关于Gigaphoton
自2000年成立以来,Gigaphoton一直致力于开发和提供使用方便的高性能DUV激光器光源,其产品为全亚洲以及美国和欧洲部分地区的主要半导体制造商所采用。
光刻光源对生产率和成本/效率比至关重要的大批量制造(HVM)而言必不可少,Gigaphoton一直努力成为卓越光刻光源领域首屈一指的供应商。Gigaphoton始终专注于终端用户的需求,从研发到生产的所有领域,Gigaphoton均力争为客户提供世界一流的可靠性和符合全球标准的客户支持。
垂询详情,请访问:www.gigaphoton.com

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支援運用尖端技術對現有設備進行持續的價值提升

日本小山市; 2015年10月1日–領先的微影光源製造商Gigaphoton Inc.(總公司:日本栃木縣小山市;總裁兼執行長:都丸仁)宣布推出一項新業務,將既有的曝光機設備所搭載的舊型準分子雷射升級為最新型的準分子雷射,並已完成交付至最終使用者工廠端。接受升級的對象無論設備是出於哪家製造商的雷射設備,涵蓋範圍包含了早期的KrF雷射設備至ArF的浸潤式曝光機設備所用的雷射設備,Gigaphoton均可對雷射設備進行更換,而且Gigaphoton已創造為無數客戶和地點提供雷射設備升級的非凡業績。

隨著物聯網業務的興起,生產通訊晶片感測器和微機電系統(MEMS)的 200 毫米晶圓代工廠的開工率獲得不斷提高。

在這一背景下,升級現有設備以提高產能成為日漸盛行的一大趨勢。另外為了維護舊型雷射設備所產生的費用及停機的頻率升高也成為了接下來為了減少營運成本客戶所面臨的緊迫問題。

Gigaphoton 提供的最新業務解決了這些客戶的需求,亦即可提供與客戶舊型雷射設備相同波長的最新型雷射設備來取代替換舊型雷射設備。根據雷射設備的升級,能實現將現有曝光設備的產能提高,同時可顯著降低預期營運成本和停機時間。

Gigaphoton 總裁兼執行長都丸仁表示:「量產 DUV 微影製程問世已有 20 年的時間,如今,全球生產工廠中運轉著 4000 多台雷射設備。鑒於客戶對雷射設備升級的期待日漸提高,我們預計該市場將成長至與新雷射設備業務市場相當的規模。隨著升級雷射設備訂單的取得,Gigaphoton 提供的最先進技術改善客戶端設備的性能及提升量產工廠的產量的同時也大幅降低營運成本。我們相信這是一項重大成就,符合我們為客戶提供 HVM 支援的使命。今後我們會持續的為世界各地量產工廠的持續價值提升貢獻力量。」

關於Gigaphoton

自2000年成立以來,Gigaphoton為了全亞洲以及美國和歐洲部分地區的主要半導體製造商,一直致力於開發和提供方便使用者的高性能DUV雷射器光源。
Gigaphoton 為對於產能和成本/效率比極為重要的大量製造(HVM)而言不可或缺,Gigaphoton 一直努力成為卓越微影光源領域首屈一指的供應商。Gigaphoton始終專注於終端使用者的需求,從研發到生產的所有領域,Gigaphoton 均力爭為客戶提供世界一流的可靠性和符合全球標準的客戶支援。
如需詳情,請造訪:www.gigaphoton.com

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첨단 기술로 기존 장비 가치의 지속적 향상 지원

오야마, 일본; 2015 년 10 월 1 일– 세계적인 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)(본사: 도치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시(Hitoshi Tomaru))이 신규 사업에서 레이저 업그레이드를 수주, 제공했다고 발표했다. 기가포톤은 이를 통해 양산 라인의 기존 노광 장치와 연결된 기존 엑시머 레이저 광원을 최신 모델로 교체했다. 기가포톤은 제조사와 관계 없이 초기 KrF 모델부터 ArF 액침 리소그래피에 사용되는 레이저에 이르기까지 광범위한 레이저를 교체할 수 있으며 다수 고객과 지역에 이를 제공한 실적을 축적해 왔다.

사물인터넷(IoT) 기반 사업이 부상하면서 통신 칩 센서와 MEMS를 생산하는 200mm 파운드리의 가동률이 계속 상승하고 있다. 반면 기존 장비 업그레이드로 생산성 향상을 추구하려는 움직임도 꾸준히 증가하고 있다. 운영 비용을 절감하고 구형 레이저의 유지보수로 야기되는 다운타임을 줄이는 문제도 고객사의 주요 고민거리로 대두됐다.

기가포톤이 제공하는 신규 사업 솔루션을 통해 구형 레이저를 고객사의 파장에 맞는 최신 모델로 교체함으로써 고객사의 필요와 과제를 해결할 수 있다. 레이저 업그레이드는 기존 리소그래피 장비의 생산성을 높이는 한편, 예상 운영 비용과 다운타임을 획기적으로 낮춰준다.

토마루 히토시 기가포톤 대표이사 사장은 “DUV 광원 양산공정이 등장한지 20년이 지난 지금 전 세계 생산 공장에서 4000대 이상의 레이저가 가동되고 있다”며 “레이저 업그레이드에 관한 고객사의 기대가 높아지고 있는 점에 비추어 이 부문 시장이 신형 레이저 시장과 비슷한 규모로 성장할 것으로 본다”고 내다봤다. 이어 “기가포톤이 제공하는 첨단기술은 고객사 장비의 성능을 개선하고 양산 공장 생산을 활성화하는 동시에 운영비용을 현저히 낮춰준다”며 “이는 고객사에 대량생산(HVM) 지원을 제공한다는 우리의 사명과 관련된 중요한 진전이라 확신한다”고 강조했다. 그는 “전 세계 양산 공장의 지속적인 가치 향상을 위해 계속 매진할 계획”이라고 덧붙였다.

기가포톤(Gigaphoton) 소개
2000년 창립 이래 기가포톤(Gigaphoton)은 아시아, 미국 및 유럽 지역의 주요 반도체 칩 제조업체가 사용하는 사용자 친화적이고 고성능을 갖춘 DUV 레이저 광원을 개발하고 공급해 오고 있다.
기가포톤은 비용효과와 생산성이 뛰어난 리소그래피 광원의 대량생산에 선도적 역할을 하고 있다. 기가포톤은 연구개발에서 제조에 이르기까지 모든 영역에서 글로벌 기준에 부합하도록 최종사용자의 요구에 초점을 맞추고 있으며, 업계 최고의 신뢰성과 세계 수준의 고객지원으로 리소그래피 광원을 공급하는 세계최고의 기업이 되도록 노력하고 있다.
자세한 정보는 기가포톤 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

연락처
Gigaphoton Inc.
그룹 경영기획실
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