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ギガフォトンレーザ工場３つの特長
ギガフォトンのエキシマレーザは、専用のClass 5から8（ISO 14644-1 クリーンルーム規格）又はClass 100 から100,000（US FED STD 209Eクリーンルーム規格）のクリーンルーム工場で生産しています。製造部は製造の流れに従って以下の部門で構成されています。
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部品管理部門
部品管理部門は、部品の受け入れ、検査、保管、ピッキング、出庫、及び洗浄を担当します。
- 生産管理システムからの指示により、部品をピッキングし、組み立て部門にジャストインタイムで出庫します。
- 生産管理システムと自動倉庫をオンラインで結び、出庫部品情報を交換する事で効率よく部品を出庫します。
- ＡＩ機能付全自動三次元測定器や 高精度干渉計など 最先端の計測機器を使用して、受け入れた部品を完璧に検査することで品質を確保しています。
AI機能付全自動三次元計測器 |
小型部品倉庫 |
大型部品倉庫 |
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組み立て部門
組み立て部門では、各モジュールの特性に合わせて、ライン生産1)とセル生産方式2)を使い分けています。
- フレームは、ArFとＫｒＦの２ラインで組み立てられます。
- チャンバは、クリーンルームの中に設けた更にクリーン度の高いブース内で組み立てられます。
- 光学モジュールは、ダウンフローのクリーンルームで組み立てられます。
- 組み立て作業は、全て熟練スタッフが電子マニュアルに従って行われ、高品質を保証しています。
- 重要な管理指標は、品質管理システムに全数記録されます。
フレーム組み立て |
チャンバ専用組み立てブース |
光学モジュール組み立て |
- ライン生産方式 ある期間において、単一の製品を大量に製造するための方法。いわゆる流れ作業。別名で、量産方式ともいう。大量生産に最適。
- セル生産方式 組み立て製造業において、1人又は数人の作業員が部品の取り付けから組み立て、加工、検査までの全工程（1人が多工程）をセルと呼ばれる作業台で担当する生産方式。多品種少量生産に最適。
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検査部門
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組み立て後の検査は、全てセル生産方式で実施されます。また、一人のスタッフが複数のセルを担当します。
自動検査装置を採用しているので、週７日間毎日24時間の自動検査が可能なため、製造リードタイムの短縮と生産性の向上を実現しています。
ギガフォトンの製造部では 世界一高品質なエキシマレーザを、お客様にタイムリーに出荷できるよう、常に全員参加のKAIZEN活動を推進し、完璧な品質管理に努めております。
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検査用セル
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