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■ KrF 4 kHzエキシマレーザ製品 G40K/G41K/G41K+シリーズ
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G40K
130 nm以下ノードに対応する4 kHz KrFエキシマレーザ |
| 新設計の高電圧電源(4 kHz)対応と、新開発のチャンバ特殊電極（特許出願中）を採用した結果、2 kHz世代を上回るエネルギー安定性を実現すると共に、チャンバ寿命がさらに向上。CoO（パルスあたりのランニングコスト）の更なる低減を実現しました。 主な特長
- 発振周波数を4 kHzに上げることにより(G20Kシリーズの2倍)、平均出力30 Wを達成。
- 狭帯域化モジュールに4 kHz対応の高速アクチュエータの採用により、波長安定性がさらに向上。
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G41K
130 nm以下ノードに対応する4 kHz KrFエキシマレーザ |
主な特長
- フィールドでの高性能・高稼働を誇るG40Kシステムを高効率化した結果、レーザチャンバのメンテナンス間隔が、15ビリオンパルス(当社G40K)から20ビリオンパルスに改善。
- CoOの更なる低減を実現しました。
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G41K+
130 nm以下ノードに対応する4 kHz KrFエキシマレーザ |
G41Kに磁気浮上レーザチャンバ、高効率LNM、MMを標準搭載することにより、ゆとりある高レーザ効率を実現しました。お客様のさまざまなニーズに対応し、低CoOタイプと高出力タイプ（40 W）の2タイプを選択いただけます。G41KからG41K+へは、モジュール交換によりフィールドでのアップグレードが可能となりました。
主な特長
- G41Kの更なる高効率化により40 Wの高出力／超低CoOを実現。
- G41Kからフィールドでアップグレード可能。
低CoOタイプ
全ての主要モジュールの交換間隔が、G41Kより50 %アップ。光学モジュールは30ビリオンパルス、磁気浮上レーザチャンバは驚異の30ビリオンパルスを実現。抜群の低CoOを実現します。
高出力タイプ
高効率により1ランク上の40 W出力を達成。更なるドーズを要求する先端露光プロセスに対応します。光学モジュールは30ビリオンパルスの長寿命化を達成（当社G41Kに対し50
%アップ）。
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