■ ArFエキシマレーザ製品 G41A/42Aシリーズ

G41A/G42Aシリーズは、0.10μm以下のデザインルールでの露光を、低ランニングコストで可能とする、4kHz ArFエキシマレーザです。
G41Aシリーズ
100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ


G41Aの主な特長

  • 新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現
  • ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ）の高信頼設計を踏襲。
G42Aシリーズ
80 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ


G42Aの主な特長

  • G41Aをベースとし、スペクトル幅（半値全幅）をG41Aの0.35 pmから0.3 pmに改良することにより、80 nmデザインルールへの対応を可能にしました。
  • 各モジュールに高耐久部品を採用することにより長寿命化し、CoOを大幅に低減
    　・ レーザチャンバ：電極に高耐久部品を採用
    　・ 狭帯域化モジュール、モニタモジュール等：光学部品に高耐久材料を採用。
Major Specification (*)
  G41A G42A
Wavelength (nm) 発振波長 (nm) 193 193
Power (W) 平均出力 (W) 20 20
Pulse Energy (mJ) パルスエネルギー (mJ) 5 5
Max Repetition Rate(Hz) 繰り返し周波数 (Hz) 4000 4000
Bandwidth(FWHM, pm) スペクトル線幅(FWHM, pm) 0.35 0.3
Bandwidth（E95, pm) スペクトル線幅(E95, pm) 0.85 0.75
Energy Stability (DOSE, %) 積算エネルギー安定性(%) 0.3 0.3
各仕様値は代表値です。
Durability (Expected Life)
  G41A G42A
Laser Chamber (Bpls) レーザチャンバ（Bpls) 5 8
Line-Narrowing Module (Bpls) 狭帯域化モジュール(Bpls) 6 8
Monitor Module(Bpls) モニタモジュール(Bpls) 7 10
Front Mirror (BPls) フロントミラー(Bpls) 7 10
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