最先端リソグラフィアプリケーションに対応するレーザ光源メーカーとして 半導体メーカーとファウンドリから確固たる信頼を獲得
ギガフォトンは、同社が出荷した通算100台目となるGigaTwin ArFレーザ光源が、台湾の半導体製造ファウンドリ企業に設置されたと発表しました。今回設置されたGT40Aは、この企業の次世代リソグラフィアプリケーション向けの最先端御ArFリソグラフィ装置に組み込まれ、65nmプロセスでのデバイス生産に使用される予定です。出荷開始から通算100台目となるArFレーザがエンドユーザに設置されたことにより、ギガフォトンのインジェクションロッキング技術を特長とする、デュアルチャンバプラットフォームの成功と急速な普及を証明するものとして、業界内の注目を集めるものと期待されます。
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About Usに、ギガフォトンの品質に対する取り組みをご紹介する「品質」ページと、高品質を支えるユニークな教育システムである「G能塾」ページを追加しました。
マニュアル・技術資料の紹介 ギガフォトンがお客様へ配布している装置マニュアルやメンテナンスソフトウェアを紹介します。 続きを読む
・最先端の露光に求められる厳しいCD制御へ大きな貢献が期待される、ギガフォトン独自のBCM(Bandwidth Control Module)についての技術解説、第3回「実機搭載時のスペクトル性能」掲載しました。
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