FAQ

기가포톤에 대해

회사 설립은 언제인가?

2000년 8월 1일입니다.

본사 소재지는 어디인가?

(우)323-8558 토치기현 오야마시 요코쿠라 신덴 400입니다.

본사 이외의 사업소ㆍ해외 거점은 있는가?

히라츠카 사업소를 비롯하여 일본 국내외에 서비스 거점 등이 다수 있습니다. 자세한 내용은 여기를 참조해 주십시오.

자본금은 얼마인가?

50억 엔입니다.

주주는 누구인가?

주식회사 코마츠 제작소(100% 출자)

사원 수는?

514명(2013년 4월 1일 현재)

사원 모집을 하고 있는가?

사원 모집은 필요할 때 적절히 충원하고 있습니다.

회사명의 유래

기가비트 시대에 대응하는 빛(광자=포톤)이라는 의미입니다.

회사명 로고가 지닌 메세지(의미)는 무엇인가?

이니셜의 G가 ‘성장’을 의미합니다.

회사 설립의 배경을 알고 싶다

노광용 엑시머 레이저 시장의 경쟁이 격화되는 상황에서 일본의 엑시머 레이저 기술을 통합하여 상품력ㆍ고객 지원력을 강화하기 위해, 코마츠와 우시오 전기가 엑시머 레이저 사업을 통합하여 합병 회사 기가포톤(주)이 설립되었습니다.

주요 사업은 무엇인가?

반도체 노광장치용 엑시머 레이저 광원의 개발ㆍ제조ㆍ판매ㆍ서비스를 실시하고 있습니다.

기가포톤의 핵심 기술은 무엇인가?

기가포톤은 노광장치 광원용 엑시머 레이저에 요구되는 에너지의 안정화 기술과 스펙트럼의 협대역화 실현 기술을 기가포톤의 핵심 기술이라 생각하고 있습니다:

  1. 에너지 안정화 기술
    KrF, ArF 엑시머 레이저를 kHz급의 고반복 주파수로 펄스 발신시키고, 동시에 장기에 걸쳐 고도로 안정된 에너지 특성을 실현하기 위해서는 레이저 체임버 내의 안정된 펄스 방전을 실현하는 충전 기술ㆍ방전 기술이 필요합니다.
    기가포톤은 kHz급의 고반복 주파수를 가능하게 하는 펄스 전원 기술과 장수명, 동시에 안정된 펄스 방전을 가능하게 하는 방전 기술에 대해 세계 수준의 연구 개발을 실시하고 있습니다.
  2. 스펙트럼 협대역화 기술
    엑시머 레이저광은 원래 스펙트럼 대역이 넓기 때문에 노광장치상의 결상성은 좋지 않습니다만, 회절 격자(diffraction grating)를 이용한 협대역화 기술로 높은 광강도를 유지한 상태에서 서브 pm라는 매우 좁은 대역의 DUV광을 발진할 수 있게 되어, 노광장치 광학계에 적합한 성능을 실현할 수 있었습니다. 기가포톤의 협대역화 기술은 절대 성능ㆍ장기 안정성에서 세계적으로도 매우 높은 수준에 있습니다.

그리고 고품질의 레이저를 제조하는 기술이야말로 가장 중요한 핵심 기술입니다. 기가포톤은 고품질의 엑시머 레이저를 제조하여 사용자로부터 매우 높은 평가를 받고 있습니다. 앞으로도 세계 최고의 품질을 목표로 개발ㆍ제조ㆍ지원의 품질 향상 활동을 실시해 나가겠습니다.

주력 제품은 무엇인가?

기가포톤은 각 세대의 노광장치 광원용 엑시머 레이저를 모두 갖추고 있습니다.
4kHz KrF 엑시머 레이저 ‘G40K’ 시리즈, 4KHz ArF 엑시머 레이저 ‘GT40A’ 시리즈 및 6KHz ArF 엑시머 레이저 ‘GT60A’ 시리즈가 현재 주력 제품입니다.

기가포톤 제품의 고객은?

반도체 노광장치 제조업체 및 디바이스 제조업체입니다.

최근 실적(매출 실적)을 알고 싶다

당사 영업 창구에 문의해 주십시오.
일본: 0285-28-8415
해외: +81-285-28-8415 및 Contact Us

제품의 시장 점유율을 알고 싶다

아시아 시장에서는 50%의 높은 시장 점유율을 획득한 데 이어, 유럽 및 미국에서도 최근 40% 가까운 시장 점유율을 획득하고 있습니다.

일본 국내ㆍ해외의 매출 비율은?

2011년 실적에서 해외ㆍ일본은 7:3입니다.

‘기가포톤’에 관한 자료 청구 방법을 알고 싶다

Web 사이트에서 제품 카탈로그를 다운로드할 수 있으며, 문의 양식에서도 접수하고 있습니다.

제품에 대해

기가포톤의 취급 제품은 무엇인가?

반도체 노광장치용 엑시머 레이저 광원(본체ㆍ부품)입니다.

엑시머ㆍ레이저란 무엇인가?

희가스와 할로겐 가스의 혼합 가스를 매질로, 주로 펄스 방전을 이용하여 여기되는 가스 레이저입니다. 크립톤ㆍ불소(KrF), 아르곤ㆍ불소(ArF) 엑시머 레이저는 각각 파장 248nm, 193nm의 심자외(DUV)광을 강한 광강도로 방출할 수 있으므로, 고도의 해상력을 필요로 하는 최첨단 반도체 노광장치의 광원으로 이용되고 있습니다.
원래 엑시머 레이저광은 스펙트럼 대역이 넓기 때문에 노광장치상의 결상성은 좋지 않았습니다만, 회절 격자(diffraction grating)를 이용한 협대역화 기술로 높은 광강도를 유지한 상태에서 서브 pm라는 매우 좁은 대역의 DUV광을 발진할 수 있게 되어, 노광장치 광학계에 적합한 성능을 실현할 수 있었습니다.

인젝션ㆍ락 기술이란 무엇인가?

인젝션 락 기술이란 주 발진기(Master Oscillator)로 매우 좁은 스펙트럼 폭의 레이저광을 저출력으로 발진시키고, 그 빛을 전력 발진기(Power Oscillator)에 주입하여 증폭하는 방식으로 좁은 스펙트럼 대역이면서 동시에 고출력의 레이저광을 얻는 기술입니다.

주요 시장과 사용자는 누구인가?

반도체 제조장치 시장(리소그래피). 시장 구조는 2종류로 생각됩니다.

  • 엑시머 레이저 본체는 노광장치 제조업체(니콘ㆍ캐논ㆍASML)에 OEM으로 공급하고 있습니다.
  • 사용자: 엑시머 레이저가 사용되는 곳은 노광장치가 설치된 반도체 제조업체(사용자라 표기)입니다.

어떤 공정에서 사용되는가?

반도체 제조 시의 리소그래피 공정입니다.

제품 개발은 어디에서 실시하고 있는가?

기가포톤 본사(코야마)에서 제품 개발을 실시하는 한편, 히라츠카 사업소에서 미래 기술(EUV 광원)을 개발하고 있습니다

제품명에 있는 이니셜 ‘G’는 무엇인가?

기가비트 시대에 대응하는 G를 나타내고 있습니다.

G 제품 시리즈는 언제 출시되었는가?

G 시리즈의 최초 모델은 1993년에 코마츠에서 출시한 ‘G6’ 시리즈입니다.

G 제품 시리즈의 최신 모델은 무엇인가?

G41K-1H(KrF, 4kHz) 및 GT64A (ArF, 6 kHz) (ArF, 6kHz)가 최신 제품입니다.

G 제품 시리즈의 가격은?

공개하고 있지 않습니다.

G 제품 시리즈의 경쟁 제품은 있는가?

Cymer사의 ELS 시리즈, XLA 시리즈, XLR 시리즈입니다.

기가포톤사 제품의 우수한 점은 무엇인가?

  • 엑시머 레이저는 교환 부품(모듈)이 매우 고가이고, 그 부품비가 노광장치 전체 운용 비용의 대부분을 차지합니다. 기가포톤의 교환 부품은 장수명을 자랑하며, 교환 간격을 장기화함으로써 사용자의 운용 비용 경감에 공헌하고 있습니다.
  • 현재 미세 집적회로 패턴에서의 고립선(Isolated line)과 밀집 패턴(Dense pattern)에서의 CD 정밀도 문제 (ISO-DENSE-BIAS)에 큰 영향을 미친다고 하여 리소그래피 업계의 주목을 받고 있는 ‘E95’의 안정성은 기술적으로 타사를 크게 웃돌고 있습니다.
  • 엑시머 레이저는 반도체 제조의 핵심이라 할 수 있는 노광장치에 연결되어 사용되므로 높은 신뢰성이 요구됩니다. 기가포톤의 레이저는 철저한 품질 관리로 고가동률을 달성하여 사용자의 정지 시간 경감에 공헌하고 있습니다.

제품 구입 방법은?

노광장치 제조업체에 OEM으로 공급하고 있을 뿐, 일반 고객에게는 제품을 판매하고 있지 않습니다.

운용 비용에 대해 알고 싶다

레이저의 운용 비용으로 기가포톤에서는 사용자의 사용 펄스에 따라 과금하는 ‘펄스 계약’ 또는 추정 수명으로 계산한 운용 비용(CoO: Cost of Operation)을 보증하는 ‘프로 레이트 계약’을 채택하고 있습니다.

<펄스 계약의 개요>
부품 교환의 유무에 관계 없이 사용한 펄스 수에 따른 대금을 과금하는 계약입니다. 사용자는 정기적으로 펄스 수에 따른 대금을 지불하면 안정된 운용 비용(CoO)의 관리가 가능합니다.

<프로 레이트 계약의 개요>
보증 수명(warranty life)이 펄스 이상 사용되고, 추정 수명(expected life)에 도달하지 않고 교환된 부품의 대금은 교환 시에 도달하지 않은 펄스 수만큼을 비례 계산하여 가격을 인하하는 계약입니다. 결과적으로 사용자에게는 펄스당 운용 비용(CoO)이 보증됩니다.

운용 비용에 관한 자세한 내용은 당사 영업부 창구에 문의해 주십시오.
일본: 0285-28-8415
해외: +81-285-28-8415

제품 리스는 실시하고 있는가?

노광장치 제조업체에서만 구입하므로, 리스는 실시하고 있지 않습니다.

사용 중인 장치는 새 기계 구입 시 보상받을 수 있는가?

장치의 보상 등은 당사 레이저 장치를 탑재하고 있는 노광장치 제조업체와 상담해 주십시오.

타사 제품 사용 중 귀사 제품 구입 시의 캠페인은 있는가?

캠페인은 실시하고 있지 않습니다.

견적을 알고 싶다

견적 등의 요청은 당사 영업 창구(일본: 0285-28-8415, 해외+81-285-28-8415 또는 Contact Us)로 문의해 주십시오.

평가용의 자세한 제품 자료를 원한다

제품 자료 요청은 당사 영업 창구(일본: 0285-28-8415, 해외+81-285-28-8415 또는 Contact Us)로 문의해 주십시오.

장치 시연을 볼 수 있는가?

시연 요청은 당사 영업 창구(일본 내 0285-28-8415, 해외+81-285-28-8415 또는 Contact Us)로 문의해 주십시오.

REDeeM이란 어떤 제품인가?

‘REDeeM’(Remote Equipment Data Management)은 인터넷을 이용한 엑시머 레이저의 리모트 모니터링 시스템입니다. 사용자 및 노광장치 제조업체에서 레이저 가동 정보를 저렴(도입ㆍ운용 비용)ㆍ간단(조작성)ㆍ안전(보안 안전성)하게 공유할 수 있는 레이저 보수 관리를 강력하게 지원하는 도구입니다. 기존 반도체 제조업체에서는 장치 데이터 등을 사내에 보관하는 폐쇄적인 관리 체제를 시행하고 있습니다만, REDeeM은 장치 데이터를 인터넷을 통해 사외의 서버에 충분한 보안 환경에서 관리하는 개방적이고 획기적인 시스템입니다.

REDeeM 도입을 통해 사용자는 어떤 혜택을 얻는가?

REDeeM을 도입한 고객은 반도체 제조업체, 노광기 제조업체 및 기가포톤의 FSE, 개발 엔지니어가 신속하게 동일한 정보를 공유할 수 있으므로, 서비스 대응이 비약적으로 향상됩니다.
또한 설치 대수가 많은 사용자는 엔지니어와 관련된 관리 부하가 경감될 뿐만 아니라, 여러 장치의 최적 운전 관리를 용이하게 실현하여 결과적으로 실질적인 비용 경감에 공헌하고 있습니다.

REDeeM의 가동 조건은?

REDeeM은 장치 데이터, 응용 프로그램을 집중 관리하는 서버 유닛, 서버에 대해 정보를 전송하는 레이저 장치 유닛, 장치 상태를 열람하는 사용자 클라이언트 유닛의 3가지 유닛으로 구성됩니다.

각 유닛은 인터넷으로 결합됩니다만, HTTPS 통신 프로토콜을 일관적으로 이용하여 통신로의 암호화를 실현해 데이터를 보호 관리하고 있습니다.

고객ㆍ지원

제품의 반입ㆍ설치ㆍ가동ㆍ정기 점검ㆍ수리 등의 지원 체제를 알고 싶다

  • 제품의 반입ㆍ설치는 고객이 실시해야 합니다(설치 매뉴얼이 준비되어 있습니다).
  • 가동은 노광장치 제조업체를 통한 노광장치 가동에 포함되어 있습니다.
  • 정기 점검ㆍ수리는 기가포톤의 현장 서비스에서 실시합니다.

고객 지원 전용 창구의 유무

당사는 전 세계의 고객 공장 근처에 서비스 거점을 전개하고 있습니다. 고객 지원에 대한 연락처는 여기를 참조해 주십시오.

고객 지원은 연중무휴인가?

평일 9:00am~5:00pm입니다(토ㆍ일요일ㆍ공휴일, 연말연시는 휴무). 또한 고객의 요청에 따라 특별 지원도 실시하고 있습니다. 자세한 내용은 당사 영업 창구(일본 0285-28-8415, 해외 +81-285-28-8420)로 문의해 주십시오.

사용자용 트레이닝의 유무

운전자 트레이닝, 감독자 트레이닝 등이 마련되어 있습니다.

온 사이트ㆍ오프 사이트 트레이닝의 차이는 무엇인가?

트레이닝의 실시 장소와 프로그램이 다릅니다.

  • 온 사이트 트레이닝은 고객의 공장 라인에 설치된 실제 기계로 트레이닝을 실시합니다.
  • 오프 사이트 트레이닝은 기가포톤 오야마 트레이닝 센터에서 강의ㆍ실제 기계를 통한 트레이닝을 실시합니다.

매뉴얼의 유무

  • 레이저 운전 매뉴얼을 장치 도입 사용자에게 제공하고 있습니다.
  • 트레이닝을 수강한 사용자에게는 트레이닝 매뉴얼을 CD로 제공하고 있습니다.

사용자가 해외로 이전하더라도 지원은 계속되는가?

고객이 해외로 이전할 때에는 사전에 노광장치 제조업체와 당사 영업 창구에 연락해 주실 것을 부탁드립니다.