제품

기가포톤은 2001년에 4kHz의 고주파수 발진을 가능하게 하는 양산형 ArF 엑시머 레이저를 세계에 앞서 제품화했습니다. 그 후 고성능 노광장치에 대응한 최신형 ArF 엑시머 레이저를 잇따라 시장에 공급하는 등 기가비트 세대의 초미세 집적 회로에 대응하는 리소그래피 기술의 발전에 공헌하고 있습니다.

또한 KrF 엑시머 레이저는 그 풍부한 제품군과 고성능ㆍ고품질ㆍ경제성이 높은 평가를 받아 세계의 노광장치 제조업체 각 사의 기술 경쟁력을 뒷받침하고 있습니다.

Gigaphoton DUV in Lithography Light Source:

Gigaphoton EUV in Lithography Light Source: