2003/10/1
ギガフォトン、KrFエキシマレーザG40Kのランニングコストを低減、G41Kを発売

ギガフォトン（社長：渡辺 裕司）は、100nm以下のデザインルールに対応するリソグラフィー用光源として、KrF（フッ化クリプトン）エキシマレーザ「G41K」（発振波長：248nm、発振周波数：4,000Hz）を開発し、販売を開始しました。このほど販売開始した「G41K」は、2001年に発売され、フィールドでの高性能・高稼働で定評ある4kHz　KrFエキシマレーザ 「G40K」シリーズを改良することにより、レーザチャンバを長寿命化し、ランニングコストの大幅低減を実現したものです。

G41Kシステムの開発にあたっては、G40Kの高電圧電源を高出力化し、また光学系においては高効率設計の狭帯域化モジュールを採用することにより、レーザ発振効率が大幅改善しました。また、レーザチャンバ内のガス環流ファン（クロスフローファン）の軸受に、非接触式の磁気浮上軸受を標準採用することにより、これまでレーザ発振効率を下げるとして問題とされてきた、ファンの軸受機構より生成する化学不純物質（コンタミネーション）の発生を大幅に低減し、レーザチャンバの経年劣化を抑制することに成功しました。

以上の効率・耐久性の改良により、レーザチャンバの交換間隔が、150億パルスから200億パルスに伸びました。レーザチャンバは、エキシマレーザの消耗品コストの中でも大きな割合を占めており、今回の改良により、ランニングコストがおよそ1割低減（当社比)される事になります。