ギガフォトン

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2006年12月6日

ギガフォトン、新製品「GT61A」を発表

ArFエキシマレーザ「GTシリーズ」の最新モデルとして、一層の性能向上と共に
露光装置のダウンタイム低減・メンテナンス費用削減に大きく貢献

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ ）は、N.A. 1.3を超えるHyper N.A露光機に対応するリソグラフィ用光源として、インジェクションロック技術を搭載したArF（フッ化アルゴン）エキシマレーザの新製品「GT61A」（発振波長: 193 nm、発振周波数: 6,000 Hz）を開発したと発表しました。すでにレーザテストを終えて量産出荷が始まっており、ギガフォトンでは2007年中頃から液浸露光装置に搭載されて半導体工場での稼動が開始されると見込んでいます。

今日の最先端半導体リソグラフィプロセスでは、ますます加速する集積回路パターンの微細化に対応すべく、ArFドライリソグラフィが先端量産工場の主力となる一方で、液浸ArFリソグラフィ技術が次世代プロセスの主流となってきました。また、リソグラフィ光源のArFレーザに対しては、液浸ArFリソグラフィに対応できる高い出力、レンズのダメージを抑えて高いスループットを確保するための高周波数、スペクトル安定性能への要求が一層高まってきています。

ギガフォトンは、このような市場のリソグラフィーロードマップに対応して、2005年春より業界初となるインジェクションロック方式の露光用ArFエキシマレーザ「GT40A」(発振周波数: 4,000 Hz、出力: 45ワット)の量産出荷を開始し、2006年末には周波数を6,000Hz、出力を60Wまで高めたGT60Aを出荷しました。GT61Aは、GT40A/GT60Aに続くGTシリーズの最新モデルで、インジェクションロック方式を採用したプラットフォームの3世代目にあたります。ギガフォトンはGT60Aで実現した高出力、高周波数技術に加え、GT61AではN.A. 1.3以上の液浸露光装置へ対応するために、スペクトル幅(E95%)をGT40A/GT60Aから30%向上させることに成功しました。また、性能の向上だけでなくレーザチャンバの寿命を大幅に改善し、ダウンタイム低減・メンテナンス費用削減に大きく貢献します。

GT40A/GT60Aはすでに各国の主要ユーザーに数多く受け入れられており、その設計思想・信頼性が高く評価されています。GT61Aは、GT40A/GT60Aと同じプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため、ユーザーにとってその導入当初から高い信頼性が期待できます。

GT61Aの特長

  1. スペクトル性能

    スペクトル幅（E95%）0.5pmを実現したGT60Aに大幅な改良を加え、同じプラットフォーム上でスペクトル幅0.35pmを実現しました。また、新開発の高精度の計測装置および安定化機構を標準で採用したことにより、装置ライフタイムに亘り、スペクトル性能の高い安定性が可能となりました。これにより、露光プロセスの安定度への貢献が見込まれます。
  2. 稼働率・信頼性

    レーザチャンバ寿命延長によりメンテナンスダウンタイムの低減と同時にコスト削減が可能です。もちろんGTシリーズの大きなアドバンテージであるモジュール交換性を含むサービス性も確保されており、半導体工場で必須とされる高信頼性・高稼働率を実現しています。また、実績のあるGT40A/GT60Aプラットフォーム上に設計され最大限の共通化が図られており、導入当初から高い信頼性が期待できますので安心して導入いただけます。


仕様概要
発振波長 193 nm
発振周波数 6,000 Hz（最大）
パルスエネルギー 10.0 mJ
平均出力 60 W
スペクトル幅
（95 %エネルギー積算） 		＜0.35 pm
モジュール保守間隔
レーザチャンバ交換(発振段) 200億パルス
レーザチャンバ交換（増幅段） 300億パルス
モニターモジュール交換 300億パルス
POフロントミラー交換 120億パルス
POリアントミラー交換 120億パルス
フッ素トラップ交換 200サイクル

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ギガフォトン株式会社は2000年、世界2位の建設機械メーカー「コマツ」と、世界最大手の露光用ランプ・メーカー「ウシオ電機株式会社」の合弁会社として発足しました。以来、世界に先がけて次々と半導体リソグラフィ装置向け最新鋭エキシマレーザを製品化し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィ技術の発展に貢献しています。ギガフォトンは、世界2位の露光用エキシマレーザメーカーとして、日本を含むアジア市場ではほとんど全ての半導体メーカーで製品が使用されているほか、欧米市場でも急成長を続けています。

社名、ロゴは、株式会社ギガフォトンの商標です。記載内容は予告なしに変更される場合があります。ギガフォトンは、プレスリリースの記載内容が将来の諸事由で変更された場合、内容の更新または訂正発表する責任を持ちません。©2006 ギガフォトン

報道関係者お問合せ先
ギガフォトン株式会社　企画管理部　佐藤 日出一
TEL: 0285-28-8410　Email: hideichi_satou@gigaphoton.com

記事掲載時の連絡先
ギガフォトン株式会社　第一営業部　松井 優達
TEL: 0285-28-8415　Email: sales@gigaphoton.com
http://www.gigaphoton.com/

 

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