2009年4月22日

インジェクションロックArFエキシマレーザー「GT62A」
レーザー学会産業賞で優秀賞を受賞

ギガフォトンの長年にわたる地道な努力と実績が世界No.1と評価

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/）は、4月22日（水）パシフィコ横浜で開催されたレーザー技術展示会LASER EXPO 2009において、同社のインジェクションロックArFエキシマレーザーGT62Aが、第１回レーザー学会賞*のシステム・装置部門で優秀賞を受賞したことを発表しました。

ArFエキシマレーザーは、露光装置の光源となるレーザーであり、半導体製造におけるリソグラフィプロセスに不可欠な技術です。ギガフォトンは、この分野において長年にわたり製品開発と技術革新に邁進し、優れた製品を世に出してきました。現在、ギガフォトンのレーザーは世界中の最先端半導体工場で稼働しております。今回の受賞は、ギガフォトンの長年にわたる地道な努力と実績が世界No.1と評価されたことを証明するものです。

ギガフォトンの製品開発を統括する溝口計取締役専務執行役員は次のように語っています。「半導体技術は、次世代に向かって進化し続けています。これからもギガフォトンは、常に市場のニーズを最優先し研究開発や製造、テクニカルサポートにいたるまで、グローバルな事業戦略を基礎に、No.1に向かって挑戦し続けていきます」。

なお、受賞対象者名簿は、レーザー学会のサイト（http://wwwsoc.nii.ac.jp/lsj/）でご覧になれます。

第１回レーザー学会産業賞受賞６企業の代表者 (前列)
(前列右端がギガフォトン株式会社、代表取締役社長　渡辺裕司)

*レーザー学会産業賞
社団法人レーザー学会が選定する賞。レーザーの技術と応用の一層の普及促進を図るとともに、レーザーの新技術育成と実用化・製品化に貢献することを目的としたものです。かつ、技術・実績・新規性・市場性に優れ、レーザー関連産業の発展に大きく貢献すると認められる製品・応用を表彰する制度です。

 

 

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ギガフォトン株式会社は2000年、世界2位の建設機械メーカー「コマツ」と、世界最大手の露光用ランプ・メーカー「ウシオ電機株式会社」の合弁会社として発足しました。以来、世界に先がけて次々と半導体リソグラフィ装置向け最新鋭エキシマレーザーを製品化し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィ技術の発展に貢献しています。ギガフォトンは、世界トップクラスの露光用エキシマレーザーメーカーとして、日本を含むアジア市場ではほとんど全ての半導体メーカーで製品が使用されているほか、欧米市場でも急成長を続けています。

社名、ロゴは、ギガフォトン株式会社の商標です。記載内容は予告なしに変更される場合があります。ギガフォトンは、プレスリリースの記載内容が将来の諸事由で変更された場合、内容の更新または訂正発表する責任を持ちません。©2009 ギガフォトン

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