2011年4月25日

株式大量異動に関するお知らせ

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ ）は、現在50%の株式を保有するコマツ（社長：野路國夫）が残り50％の株式をウシオ電機(株)＜以下、ウシオ＞（社長：菅田史朗）より買い取ることで合意したと発表しました。これにより、コマツとウシオとの間で締結されていた合弁契約が解消され、ギガフォトンはコマツの100％子会社となります。今後5月中旬を目処に株式は異動します。

ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用光源としてのエキシマレーザの開発・製造・販売・サービスを行う会社として、2000年8月にコマツとウシオの対等出資で設立されました。以来、ウシオのグローバル販売・サービス体制とコマツが保有していたエキシマレーザに関する技術・生産体制を融合させることにより事業を発展させ、現在は世界シェアの約50％を獲得し、成果を上げてきました。

現在、次世代の最先端半導体露光装置用として、EUV（Extreme Ultraviolet：極端紫外）光源の研究開発が急務であり、ギガフォトンではLPP (Laser-Produced Plasma) 方式での製品開発を進めています。一方でウシオがこれと異なるDPP (Discharge-Produced Plasma)方式での製品化を行っていることから、今後この二つの発光方式が実用化に至った場合、両社が競合関係になる可能性がありましたが、これに対処し、お互いの発展を図るために今回合弁が解消されることとなりました。

今後、ギガフォトンは一段とEUVの製品開発を促進し、事業拡大を図る予定です。

以　　上

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ギガフォトン株式会社は2000年の設立以来、世界に先がけて次々と半導体リソグラフィ装置向け最新鋭エキシマレーザを製品化し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィ技術の発展に貢献しています。ギガフォトンは、世界トップクラスの露光用エキシマレーザメーカーとして、日本を含むアジア市場ではほとんど全ての半導体メーカーで製品が使用されているほか、欧米市場でも急成長を続けています。

社名、ロゴは、株式会社ギガフォトンの商標です。記載内容は予告なしに変更される場合があります。ギガフォトンは、プレスリリースの記載内容が将来の諸事由で変更された場合、内容の更新または訂正発表する責任を持ちません。
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ギガフォトン株式会社　経営企画部　高久 賢次
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Email: kenji_takahisa@gigaphoton.com

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