2011年12月5日

露光用エキシマレーザ、1,000台の出荷を達成

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、 www.gigaphoton.com）は、露光用エキシマレーザ製品シリーズの出荷台数が、累計1,000台に達したと発表しました。ギガフォトン は、その前身であるコマツにて1985年に日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売し、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売しました。 以来、市場の高い期待に応え、高精細・高スループット・低ランニングコストを追求した露光用エキシマレーザを次々と発売してきました。

マルチパターニング用液浸露光装置に向けた次世代 のArFエキシマレーザGT63 Aシリーズでは、低ランニングコストを実現するチャンバ技術(sGRYCOS)、高稼働率を実現するガス制御技術(sTGM)、広い焦点深度を実現するスペクトル制御技術(sMPL) *1)、高安定性を実現するモニタリング技術(sMONITORING)の、4つの”s”シリーズファンクションを投入し、高い技術でお客様への更なる価値を創造し、信頼に答えています。また、これら”s”シリーズファンクションは、GT63Aシリーズとプラットフォームを共通とする、GT60Aシリーズ*2)、GT61Aシリーズ、GT62Aシリーズにもアップグレードキットが適用可能であり、お客様のご要望に応じたカスタマイズを可能としています。

sGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System)技術は、エキシマレーザの主要な交換部品であるチャンバの寿命を従来の1.5倍に高め、低ランニングコストを実現します。sTGM(Supreme Total Gas Manager)技術は、波長較正方式に工夫をこらし、従来2週間に一度必要であったレーザガスの交換を不要とする事で、高稼働率を実現します。sMPL(Spectrum Multi Positioning LNM)技術は、スペクトル制御幅を従来の10倍以上に高め、フォーカスドリリングによる広い焦点深度確保を実現します。sMONITORING(Smart Monitoring)技術は、オンラインでリアルタイムにレーザのパフォーマンスをモニタする機能で、お客様のFDC(Fault Detection and Classification)システムにも接続可能であり、装置の安定稼働に貢献します。

ギガフォトン代表取締役社長の渡辺裕司はこうコメントしています。「当社の露光用エキシマレーザの出荷台数 通算1,000台達成 は、当社の製品開発力およびサポート力が市場で評価されたものであると同時に、長年に渡るお客様の当社に対するご支援 とご信頼の賜物であり、改めて 感謝申し上げます。当社 は、今後も高い技術とサポート力でお客様の信頼に答えていきます。」

*1)sMPLはオプションです。
*2)sGRYCOSの設定はありません。

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ギガフォトン株式会社（www.gigaphoton.com）は2000年の設立以来、世界トップクラスの露光用エキシマレーザメーカーとして、日本を含むアジア市場、欧米市場の大手半導体メーカー各社に製品が採用されています。又、次世代のリソグラフィ技術として注目されているEUV光源に関しても、ギガフォトンの革新的な独自技術「LPP EUV」ソリューションは、次世代デバイスの量産での低コスト化、高生産化を実現する技術として、世界中の半導体メーカーから高い注目を集めています。ギガフォトンは、世界一のリソグラフィ光源メーカーを目指し、研究開発から製造・顧客サポートに至るすべての分野で常に顧客の要求に最優先で取り組んでいます。

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