■ プレスリリース(2000年)
セミコン・ジャパンの3日目、午後1時から「リソグラフィ技術の今日と明日」と題したギガフォトンの第1回プライベート・セミナーが開催されました。 演題及びスピーカーは次の通りでした。
社長の杉本からは、今年2000年8月1日にジョイント・ベンチャーとしてギガフォトンが船出をしてからも販売は順調に推移し、KrFエキシマレーザG20Kシリーズは設置数が非常な勢いで伸びており、又その信頼性は益々増していると話しがありました。更にセミコン・ジャパン2000ではG40A、4 kHz のArF (193 nm)エキシマレーザ、を紹介し、4 kHz仕様としては世界に先駆けて商品を発売することが出来、ユーザの方々に喜んで戴けることを確信した、今後も更なる技術開発を進め常に業界をリードする立場を築いて行く決心を述べました。今回のギガフォトン・プライベート・セミナーはエンド・ユーザの方々に役立つ情報を提供したいと言う観点から講師の人選及び演題を選択致しました。前半は現在の技術、後半は将来の技術について講師の方々から各30分前後のお話を戴きました。200ミリから300ミリへの移行時期が近付いており、2001年度は量産用の露光機用光源はKrFからArFへの転換期に当ります。最新の技術を以って今後も躍進して参りたいと考えております。ギガフォトンの今後の躍進にご期待下さい。
0.10 μmデザインルールに対応するArF 4 kHzエキシマレーザ量産機G40Aを11月に出荷開始いたしました。露光装置メーカでのドッキング評価を経て、量産機種搭載への運びになります。
2000年10月18日、HHNEC(NEC上海)よりGigaphotonに対しGigaphoton 社製レーザ装置とそのサポートに対して感謝状がおくられました。感謝状においては、工場スタート以来のギガフォトンの長期にわたる協力に感謝し、また今後のサポートに期待する旨が記されています。
HHNECは上海地区におけるNEC工場として中国より誘致され1999年2月より稼動開始し、DRAMをメインとして増強を続けているNECの主力工場のひとつです。 操業開始当時は、稼動開始以来0.25 μ m以下デザインルール対応DUVリソグラフィ用光源として、ギガフォトンの前身であるコマツ社製エキシマレーザを導入して以来、現在にいたるまで、G10K,G20KなどのギガフォトンKrFエキシマレーザが多数稼動し、また継続的な増強が行われています。
ギガフォトンは2000年8月に、コマツとウシオ電機のエキシマレーザ事業を統合して発足した合弁会社であり、DUVリソ光源用エキシマレーザの開発・製造・販売・サポートを行っています。 今回HHNECよりギガフォトンへ感謝状を送られたことは、ギガフォトンレーザの商品力と海外顧客へのサポート能力を評価していただいたことであり、大変名誉なことと認識しています。