ギガフォトン株式会社：About Us：プレスリリース(2004年)

■ プレスリリース（2004年）

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「セミコン・ジャパン 2004」出展

ギガフォトンは、12月1日（水）～3日（金）に日本コンベンションセンター(幕張メッセ)で開催される「セミコン・ジャパン 2004」に出展し、最新鋭のArFエキシマレーザGT40A、KrFエキシマレーザG41Kシリーズなど、主力製品のパネル展示を行う予定です(小間番号: 6A-915)。

「ギガフォトンセミナー」開催

セミコン・ジャパン出展にあわせて、プライベートセミナーを開催します。今回は、「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」をテーマに、国内外大手デバイスメーカーのトップ技術者の方々を講師にお迎えし、リソグラフィ技術の最前線についてお話いただくほか、ギガフォトンが提供するソリューションとして、新開発のArFエキシマレーザ「GT40A」のご紹介、スペクトル「E95」技術の開発ロードマップのご紹介を行います。

日　　時	2004年12月3日（金）、10:00-12:00 (12:00 -　昼食及び歓談)
場　　所	幕張プリンスホテル「プリンスホール2F」
セミナー	テーマ「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」

プログラム(同時通訳あり)
10:00 － 10:10	「開会ごあいさつ」　ギガフォトン代表取締役社長　渡辺裕司
10:10 － 10:30	「Low-K1による解像度の向上（仮）」　ユーザー招待講演
10:30 － 10:50	「最先端リソグラフィの課題と光源メーカーへの期待について」ユーザー招待講演
10:50 － 11:10	「E95 impact & improvement for CD uniformity」ギガフォトン株式会社　営業担当課長(技術担当)　榎波龍雄
11:20 － 12:00	「高スループットArFエキシマレーザ GigaTwin GT40A」ギガフォトン株式会社　取締役　溝口　計
12:00 －	昼食・歓談

セミナーお問い合わせ
ギガフォトン株式会社営業本部第一営業部　担当: 松井
TEL: 0285-28-8415 FAX: 0285-28-8439

平成16年12月1日

ギガフォトン、新製品「GT40A」を発表
業界初の露光用インジェクションロックArFエキシマレーザ

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ ）は、65 nm以下のデザインルールに対応するリソグラフィ用光源として、量産機としては業界初のインジェクションロック技術を搭載したArF（フッ化アルゴン）エキシマレーザ「GT40A（発振波長: 193 nm、発振周波数: 4,000 Hz）を開発したと発表しました。現在、露光装置メーカーによるインテグレーションを含む評価が行われており、ギガフォトンでは2005年中頃の発売を予定しています。

平成16年12月1日

ギガフォトン、新製品G41K+（プラス）を発売開始
KrFエキシマレーザG40Kシリーズの発振効率を大幅改善

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ ）は、KrF（フッ化クリプトン）エキシマレーザG40Kシリーズの新製品「G41K+(プラス)」を開発し、販売を開始しました。G41K+は、130 nm以下のデザインルールに対応するリソグラフィ用光源として、2003年に発売された4kHz KrFエキシマレーザ「G41K」（発振波長=248 nm、発振周波数=4,000 Hz）の改良モデルであり、発振効率が大幅に改善されたほか、主要消耗品（モジュール）を全面的に改良して長寿命化し、ランニングコストの大幅低減を実現しました。

平成16年11月29日

ギガフォトン、ウェブサイトを全面リニューアル
ユーザーとのコミュニケーション強化に貢献するツールとして、情報提供を拡大

ギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 渡辺裕司、http://www.gigaphoton.com/ ）は、ウェブサイトを全面リニューアルしました。ウェブサイトでは企業情報、製品情報、カスタマーサポート情報、技術についての提案、FAQ(よくある質問集)、問合せフォームの開設など、ユーザーへの情報提供の幅を広げました。

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