ギガフォトンは2001年、4 kHzの高周波数発振を可能とする、量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化しました。その後、高性能露光装置に対応した最新型ArFエキシマレーザを次々と市場に供給し、ギガビット世代の超微細集積回路に対応するリソグラフィ技術の発展に貢献しています。

また、KrFエキシマレーザは、その豊富な製品ラインナップと高性能・高品質・経済性が高い評価を受け、世界の露光装置メーカー各社の技術競争力を支えています。

製品ロードマップ