0.25 μm-0.18 μmデザインルールに対応する1 kHzエキシマレーザ

エキシマレーザは、フッ素・高電圧放電・深紫外光という、化学反応性の強い要素を使用するため、安定性と耐久性の実現が最大の技術課題でした。露光用エキシマレーザには、この性能に加えて光の高度な単色性と出力エネルギーの均一性が求められます。

G10Kは、これらの難しい課題を初めて解決したエキシマレーザとして、1997年の発売開始よりその画期的な安定稼働と性能がリソグラフィ光源市場で高く評価され、現在もフィールドで活躍しています。

G10Kの主な特長

安定発振と高耐久性により、高い稼働率と経済性を実現

• 独自のRF予備電離方式、新型高電圧パルス電源の開発により、発振の安定性を大幅に改善し、同時に耐久性能も大幅に向上
• 各構成モジュールの余裕ある性能実現と、全部品・全工程での徹底した品質保証体制により、製品の高信頼性を確保。

Major Specification (*)	主仕様
		G10K
Wavelength (nm)	発振波長 (nm)	248
Power (W)	平均出力 (W)	10
Pulse Energy (mJ)	パルスエネルギー (mJ)	10
Max Repetition Rate (Hz)	発振周波数 (Hz)	1000
Bandwidth (FWHM, pm)	スペクトル線幅(FWHM, pm)	0.6
Bandwidth (E95, pm)	スペクトル幅 （95 %エネルギー積算、E95, pm）	2.0
Energy Stability (DOSE, %)	積算エネルギー安定性(%)	0.5
各仕様値は代表値です。
Durability (Expected Life)	モジュール交換間隔
		G10K
Laser Chamber (Bpls)	レーザチャンバ（Bpls)	7
Line Narrowing Module (Bpls)	狭帯域化モジュール(Bpls)	10
Monitor Module (Bpls)	モニタモジュール(Bpls)	10
Front Mirror (BPls)	フロントミラー(Bpls)	10