KrFエキシマレーザ製品 G20K/21Kシリーズ
G20Kシリーズ
0.18 μmデザインルールに対応する2 kHz KrFエキシマレーザ
G20Kは、エネルギー安定性±0.4 %、半値0.6 pm以下の狭いスペクトル線幅により、0.18 nmノードのリソグラフィでの高解像度に対応します。
G20Kの主な特長
- 発振周波数を、G10Kの1000 Hzから2000 Hzに引き上げ、高スループットを実現。
- レーザ発振の安定性とモジュール耐久性を大幅に向上し、更なるCoO（パルスあたりのランニングコスト）低減を達成。
- G10Kに比べ、設置床面積を14 %縮小したコンパクトな筐体。
- 新設計の固体パルス電源モジュールにより、電力消費量を20 %削減。
G21Kシリーズ
0.13 μmデザインルールに対応する2 kHz KrFエキシマレーザ
G21Kの主な特長
- 定評あるG20Kのエネルギー安定性をさらに向上。
- 狭帯域化光学系の改良により、0.13 nm技術ノードのリソグラフィプロセスに対応する超狭帯域化性能:スペクトル半値0.5 pmを実現。
 Major
Specification (*) |
主仕様 | ||
|
G20K | G21K | |
| Wavelength
(nm) |
発振波長 (nm) | 248 | 248 |
| Power
(W) |
平均出力 (W) | 20 | 20 |
| Pulse
Energy (mJ) |
パルスエネルギー (mJ) | 10 | 10 |
| Max
Repetition Rate (Hz) |
発振周波数 (Hz) | 2000 | 2000 |
| Bandwidth (FWHM,
pm) |
スペクトル線幅(FWHM, pm) | 0.6 | 0.5 |
| Bandwidth (E95,
pm) |
スペクトル幅 （95 %エネルギー積算、E95, pm） |
2.0 | 1.4 |
| Energy Stability (DOSE, %) |
積算エネルギー安定性(%) | 0.4 | 0.35 |
| 各仕様値は代表値です。 |
|||
| Durability
(Expected Life) |
モジュール交換間隔 | ||
|
G20K | G21K | |
| Laser
Chamber (Bpls) |
レーザチャンバ（Bpls) | 12 | 12 |
| Line-Narrowing
Module (Bpls) |
狭帯域化モジュール(Bpls) | 15 | 15 |
| Monitor
Module(Bpls) |
モニタモジュール(Bpls) | 15 | 15 |
| Front
Mirror (BPls) |
フロントミラー(Bpls) | 15 | 15 |
