G41A/G42Aシリーズは、0.10μm以下のデザインルールでの露光を、低ランニングコストで可能とする、4kHz ArFエキシマレーザです。

G41Aシリーズ
100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ

G41Aの主な特長

• 新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現
• ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ）の高信頼設計を踏襲。

G42Aシリーズ
80 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ

G42Aの主な特長

• G41Aをベースとし、スペクトル幅（半値全幅）をG41Aの0.35 pmから0.3 pmに改良することにより、80nmデザインルールへの対応を可能にしました。
• 各モジュールに高耐久部品を採用することにより長寿命化し、CoOを大幅に低減
  ・ レーザチャンバ：電極に高耐久部品を採用
  ・ 狭帯域化モジュール、モニタモジュール等：光学部品に高耐久材料を採用。

 

Major Specification (*)
		G41A	G42A
Wavelength (nm)	発振波長 (nm)	193	193
Power (W)	平均出力 (W)	20	20
Pulse Energy (mJ)	パルスエネルギー (mJ)	5	5
Max Repetition Rate (Hz)	発振周波数 (Hz)	4000	4000
Bandwidth (FWHM, pm)	スペクトル線幅(FWHM, pm)	0.35	0.3
Bandwidth (E95, pm)	スペクトル幅 （95 %エネルギー積算、E95, pm）	0.85	0.75
各仕様値は代表値です。
Durability (Expected Life)
		G41A	G42A
Laser Chamber (Bpls)	レーザチャンバ（Bpls)	5	8
Line-Narrowing Module (Bpls)	狭帯域化モジュール(Bpls)	6	8
Monitor Module (Bpls)	モニタモジュール(Bpls)	7	10
Front Mirror (BPls)	フロントミラー(Bpls)	7	10