KrF 4 kHzエキシマレーザ製品 G41K-1H
G41K-1H
130 nm以下ノードに対応する4 kHz KrFエキシマレーザ
4kHz KrFエキシマレーザシリーズの第2世代モデルであるG41Kに対し、磁気浮上レーザチ
ャンバ、高効率LNM、MMを標準搭載したモデルとなります。
高効率により1ランク上の40 W出力を達成。更なるドーズを要求する先端露光プロセスに
対応します。光学モジュールは30ビリオンパルスの長寿命化を達成（当社G41Kに対し50
%アップ）。
G41KからG41K-1Hへは、モジュール交換によりフィールドでのアップグレードが可能とな
っています。
主な特長
- G41Kの更なる高効率化により40 Wの高出力／超低CoOを実現。
- G41Kからフィールドでアップグレード可能。
- 数百台の市場稼動レーザが示す、圧倒的に高い信頼性。
 Major
Specification (*) |
主仕様 | |
|
G41K-1H | |
| Wavelength (nm) | 発振波長 (nm) | 248 |
| Power (W) | 平均出力 (W) | 40 |
| PulseEnergy (mJ) | パルスエネルギー (mJ) | 10 |
| MaxRepetition Rate (Hz) | 発振周波数 (Hz) | 4000 |
| Bandwidth (FWHM,pm) | スペクトル線幅 (FWHM, pm) |
0.5 |
| Bandwidth (E95,pm) | スペクトル幅 （95 %エネルギー積算、E95, pm） |
1.4 |
| 各仕様値は代表値です。 |
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| Durability(Expected Life) |
モジュール交換間隔 | |
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G41K-1H | |
| LaserChamber (Bpls) | レーザチャンバ（Bpls) | 20 |
| Line-NarrowingModule (Bpls) | 狭帯域化モジュール(Bpls) | 30 |
| MonitorModule (Bpls) | モニタモジュール(Bpls) | 30 |
| FrontMirror (BPls) | フロントミラー(Bpls) | 30 |
