45nm以降の技術ノードに対応する新製品、6kHzArFエキシマレーザGT60A。

ギガフォトンはGT40Aの量産出荷から1年を経過せずに、出力の大幅な向上と発振周波数が1.5倍の6,000 HzとなるGT60Aの開発に成功しました。GT60Aは、GT40Aと同様にインジェクションロック方式を採用したプラットフォームの2世代目にあたります。GT40Aはすでに各国の主要ユーザに受け入れられており、その設計思想・信頼性が高く評価されています。GT60Aは、GT40Aと同じプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため、ユーザにとってその導入当初から高い信頼性が期待できます。

GT60Aの特長

1. 高出力・高発振周波数

発振周波数4,000 Hzを実現したGT40Aに改良を加え、大幅な効率向上により同じプラットフォーム上に6,000 Hzの発振周波数を実現しました。これによりパルスあたりのエネルギを押さえながらも出力を33%以上アップし、60ワットとしました。大幅な出力と周波数の改善にもかかわらず、露光装置の解像度をサポートするスペクトル性能はGT40Aと同レベルを確保しています。

2. 信頼性・安定性

実績のあるGT40Aプラットフォーム上に設計され最大限の共通化が図られており、導入当初から高い信頼性が期待できますので安心して導入いただけます。

また、GT40Aで新規に導入された高度自己診断機能に加え、装置のアベイラビリティーを高めるためのパラメータ最適化機能が追加されています。GTシリーズの大きなアドバンテージであるモジュール交換性を含むサービス性も確保されており、半導体工場で必須とされる高信頼性・高稼働率を実現しています。

 

Major Specification (*)	主仕様
		GT60A
Wavelength (nm)	発振波長 (nm)	193
Power (W)	平均出力 (W)	60
Pulse Energy (mJ)	パルスエネルギー (mJ)	10.0
Max Repetition Rate (Hz)	発振周波数(Hz)	6,000
Bandwidth (FWHM, pm)	スペクトル線幅(FWHM, pm)	0.2
Bandwidth (E95, pm)	スペクトル幅（95 %エネルギー積算、E95, pm）	0.5
各仕様値は代表値です。
Durability (Expected Life)	モジュール保守間隔
		GT60A
MO Chamber (Bpls)	レーザチャンバ交換(発振段)	20
PO Chamber (Bpls)	レーザチャンバ交換(増幅段)	30
PO Front Module (Bpls)	POフロントミラー交換	30
PO Rear Module (Bpls)	POリアミラー交換	30
Monitor Module (Bpls)	モニターモジュール交換	30
F2 Trap Module (cycles)	フッ素トラップ交換	200