N.A. 1.3以上の液浸露光装置に対応する 6kHz ArF エキシマレーザ GT61A。

ギガフォトンはGT60Aの量産出荷から1年を経過せずに、スペクトル幅（E95%）をGT60Aから30%向上させ、レーザチャンバ寿命の大幅な改善、ダウンタイムの低減とメンテナンス費用の削減を実現したGT61Aの開発に成功しました。GT61Aは、GT40A及びGT60Aと同様にインジェクションロック方式を採用したプラットフォームの３世代目にあたります。GT40AとGT60Aはすでに各国の主要ユーザに受け入れられており、その設計思想・信頼性が高く評価されています。GT61Aは、GT40A/GT60Aと同じプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため、ユーザにとってその導入当初から高い信頼性が期待できます。

GT61Aの特長

1. スペクトル性能

スペクトル幅（E95%）0.5pmを実現したGT60Aに大幅な改良を加え、同じプラットフォーム上でスペクトル幅0.35pmを実現しました。また、新開発の高精度の計測装置および安定化機構を標準で採用したことにより、装置ライフタイムに亘り、スペクトル性能の高い安定性が可能となりました。これにより、露光プロセスの安定度への貢献が見込まれます。

2. 稼働率・信頼性

レーザチャンバ寿命延長によりメンテナンスダウンタイムの低減と同時にコスト削減が可能です。もちろんGTシリーズの大きなアドバンテージであるモジュール交換性を含むサービス性も確保されており、半導体工場で必須とされる高信頼性・高稼働率を実現しています。また、実績のあるGT40A/GT60Aプラットフォーム上に設計され最大限の共通化が図られており、導入当初から高い信頼性が期待できますので安心して導入いただけます。

 

Major Specification (*)	主仕様
		GT61A
Wavelength (nm)	発振波長 (nm)	193
Power (W)	平均出力 (W)	60
Pulse Energy (mJ)	パルスエネルギー (mJ)	10.0
Max Repetition Rate (Hz)	発振周波数(Hz)	6,000
Bandwidth (E95, pm)	スペクトル幅（95 %エネルギー積算、E95, pm）	0.35
各仕様値は代表値です。
Durability (Expected Life)	モジュール保守間隔
		GT61A
MO Chamber (Bpls)	レーザチャンバ交換(発振段)	20
PO Chamber (Bpls)	レーザチャンバ交換(増幅段)	30
PO Front Module (Bpls)	POフロントミラー交換	30
PO Rear Module (Bpls)	POリアミラー交換	30
Monitor Module (Bpls)	モニターモジュール交換	30
F2 Trap Module (cycles)	フッ素トラップ交換	200