ギガフォトンのレーザは、本社を兼ねる小山事業所内に隣接する工場で製造されています。ギガフォトンの製造部は、最先端の情報技術と高度な生産技術が融合し、全員参加の品質管理（QC）活動「KAIZEN」を推進し、最先端エキシマレーザの高生産性を実現しています。また、工場で働く従業員はもとより近隣の住民の皆様が安心して生活できる環境を保証するために、最先端の環境管理を実施しております。

概要

ギガフォトンレーザ工場３つの特長

• 高品質
• 高生産性
• 環境に優しい工場の実現

ギガフォトンのエキシマレーザは、専用のClass 5から8（ISO 14644-1 クリーンルーム規格）又はClass 100 から100,000（US FED STD 209Eクリーンルーム規格）のクリーンルーム工場で生産しています。製造部は製造の流れに従って以下の部門で構成されています。

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部品管理部門

部品管理部門は、部品の受け入れ、検査、保管、ピッキング、出庫、及び洗浄を担当します。

• 生産管理システムからの指示により、部品をピッキングし、組み立て部門にジャストインタイムで出庫します。
• 生産管理システムと自動倉庫をオンラインで結び、出庫部品情報を交換する事で効率よく部品を出庫します。
• ＡＩ機能付全自動三次元測定器や　高精度干渉計など　最先端の計測機器を使用して、受け入れた部品を完璧に検査することで品質を確保しています。

AI機能付全自動三次元計測器

小型部品倉庫

大型部品倉庫

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組み立て部門

組み立て部門では、各モジュールの特性に合わせて、ライン生産¹⁾とセル生産方式²⁾を使い分けています。

• フレームは、ArFとKrFの２ラインで組み立てられます。
• チャンバは、クリーンルームの中に設けた更にクリーン度の高いブース内で組み立てられます。
• 光学モジュールは、ダウンフローのクリーンルームで組み立てられます。
• 組み立て作業は、全て熟練スタッフが電子マニュアルに従って行われ、高品質を保証しています。
• 重要な管理指標は、品質管理システムに全数記録されます。

フレーム組み立て

チャンバ専用組み立てブース

光学モジュール組み立て

1. ライン生産方式　ある期間において、単一の製品を大量に製造するための方法。いわゆる流れ作業。別名で、量産方式ともいう。大量生産に最適。
2. セル生産方式　組み立て製造業において、1人又は数人の作業員が部品の取り付けから組み立て、加工、検査までの全工程（1人が多工程）をセルと呼ばれる作業台で担当する生産方式。多品種少量生産に最適。

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検査部門

検査用セル

組み立て後の検査は、全てセル生産方式で実施されます。また、一人のスタッフが複数のセルを担当します。
自動検査装置を採用しているので、週７日間毎日24時間の自動検査が可能なため、製造リードタイムの短縮と生産性の向上を実現しています。

ギガフォトンの製造部では　世界一高品質なエキシマレーザを、お客様にタイムリーに出荷できるよう、常に全員参加のKAIZEN活動を推進し、完璧な品質管理に努めております。

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