レーザ運用コスト(Cost of Operation =CoO)の削減1)
価格競争の激しい半導体産業において、装置の運用コストの削減はお客様のビジネスにとって極めて重要です。ギガフォトンでは、当社の装置がお客様の工場でより高い生産性に貢献できるよう、CoOを削減するための様々な活動を推進しています。
(1) CoO削減活動
1-1. CoOの分類
CoOを削減するには、CoOにはどのような種類があるのか分類する必要があります。 ギガフォトンでは、以下に示すように、CoOを消耗品交換により発生するコスト（Cost of Consumable=CoC）とレーザのダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）の2種類に分類しました。
Cost of Consumable=CoC
レーザの消耗品を交換した際に発生するコストです。
レーザに搭載されている部品の一部は、レーザを使用するにつれて消耗し、寿命に到達した場合、性能劣化が発生するため、部品の交換が必要になります。代表的なものとして、レーザチャンバ、光学素子を含むモジュールなどが挙げられます。
Cost of Downtime=CoD
レーザのダウンタイムにより、露光機においてウェーハの生産が出来なくなり、間接的に発生してしまうコストです。従来、レーザのCoOはCoCのみと解釈をされていましたが、ギガフォトンはこのCoDにいち早く注目し、削減に向けた取り組みを実施してきました。
1-2. CoOの試算シミュレータ
ギガフォトンでは、レーザの運用コストCoO（CoC+CoD）を試算するシミュレータを作成し、コスト削減に活用しています。シミュレータでは、試算する年数や、レーザ使用量、レーザのパラメータを入力することにより、レーザのCoOの詳細を試算することができます。試算結果は図1のように出力されます。図中の左側がCoCを示しています。レーザの消耗品交換により発生するコストをモジュール毎に知ることができます。右側がCoDを示しています。レーザに起因して発生するダウンタイムをコストに換算し、それぞれ項目別に知ることが出来ます。ダウンタイムの部分でモジュール名が記載されているものは、定期交換にてそのモジュールが交換される際に発生するダウンタイムによるコストを示しています。
図1 : CoO(CoC+CoD)試算結果
1-3. CoO（CoC+CoD）削減ロードマップ
シミュレータでレーザの運用コストの詳細を知ることによって、各項目でどの部分を削減すれば効果的であるのかが明確にわかるようになりました。そこで、ギガフォトンは2007年に2009年までの3年間でCoOを半減させるCoO削減ロードマップを作成し、活動を行ってきました。図2にCoO削減ロードマップを示します。
CoCとCoDを各々削減することで、CoOを50%下げることが可能となります。
図2 : CoO削減ロードマップ
