レーザの消耗品交換はScheduled Online downtimeに分類される定期交換や、Un-scheduled Offline downtimeに分類されるレーザの不具合起因の消耗品の交換の際に発生します。消耗品交換時間の 短縮はこれら ダウンタイム の短縮に寄与します。また、 交換時間を短縮することで、お客様 が定期交換の計画 を 立てやすくなるというメリットがあります。
ここでは消耗品交換時間削減の計画とその手法について説明します。

(5) 消耗品交換時間の短縮

5-1.　現状と 短縮計画
表1にGT40Aの主要消耗品交換に要する時間を示します*。

*GT40A以外の機種は若干時間が異なります。
主要消耗品の交換時間を約30% 短縮することを目標に活動していきます。下記に削減手法について説明します。

5-2　交換時間削減手法
交換時間はPhase1-3の3段階で短縮します：

Phase1　ノウハウなど実績があり、直ぐに織り込める項目
消耗品の交換作業は交換手順マニュアルに沿って行います。消耗品の交換作業は基本的に同じ作業の繰り返しとなりますが、同じ作業を繰り返すうちに、熟練されたフィールドサービスエンジニアは作業 を最適化 します。 この最適化 によって、交換作業の品質に影響を与えず、作業時間を短くすることが できます。Phase1では 最適化された作業手順を集約し、実際のマニュアルに反映させ、すべての作業者が行う交換作業において、作業時間の短縮を実現します。

Phase2　プロシージャの変更 及び品質確認 を必要とする項目
前述のとおり、交換作業は交換手順マニュアルに沿って 実施します。手順の中には交換後の性能を保証するための様々な計測や確認が含まれており、それらの確認が交換時間を長くする一因となっています。Phase2ではこれらの計測手法や確認方法を見直し、交換時間を 短縮します。ただし、交換後の性能を保証する計測や確認を安易に削減するのではなく、データの蓄積と開発担当者の判断を行い、適切な削減を実施していきます。

Phase3　ツール変更などの大掛かりな変更が必要な項目
最後にPhase3では新たなツールの導入など、ハードウエアの変更、追加などで 交換時間を短縮します。例えば消耗品の一つであるレーザチャンバーの交換ではチャンバの性能を最適化するために パッシベーションという作業を行います。にパッシベーション はチャンバの保管期間中にチャンバ内に蓄積された不純物をチャンバ外に出す作業となりますが、現在はこの作業はレーザ実機に搭載して行う必要があります。この時間を短縮するため、実機に搭載する前に不純物 を排出できる装置などを導入し、実機で作業する時間短縮を図ります。他にもツールの改善などの施策を導入し、削減ターゲットを達成する計画となっています。

5-3　モジュール同時交換による交換時間削減
ここまで、それぞれの消耗品単独の交換に対する時間 短縮の手法を述べましたが、消耗品を同時に交換することにより時間短縮が図れる場合があります。
例えば、個別にチャンバ交換を行った場合の交換時間は現行で7+8= 15時間必要です。前章で紹介し、現在導入を実施しているGRYCOS (Gigaphoton Recycled Chamber Operation System)ではチャンバの同時交換 が必要になりますが、GRYCOS実施した場合の交換時間は 10時間となり、交換時間 を短縮できます。これは個別のチャンバ交換 毎に実施している計測や確認作業が同時交換では重複するため、それを同時に行うことで削減が可能となるためです。
ギガフォトンでは個別の短縮にあわせ、このような運用による時間短縮に対しても検討を続け、ダウンタイム の短縮を継続して実施していきます。

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