CoO削減技術：最終報告
これまでご紹介してきましたとおり、ギガフォトンは当社の装置がお客様の工場でより高い生産性に貢献できるよう、様々なCoO削減活動を推進してきました。今回は、この活動結果について報告します。
(6) CoO削減技術：最終報告
6-1. CoO削減ロードマップの再確認
図1に2007年に作成したCoO削減ロードマップを示します。
図1 : CoO削減ロードマップ(2007年作成)
ギガフォトンは、基本的に、このロードマップに準じてコストを削減してきました。しかしながら、当時の予想より、レーザの使用パルス数に差があり、それに準じてCoOに関しても変化が出てきましたので、実際の状況に合うよう、CoOを再計算しました。
6-2. CoO再計算
2007年当時、レーザの年間使用パルス数は15Bplsと予想してCoO計算を行いましたが、ギガフォトンのパルス消費量データベースより、2008年のGT40Aの平均レーザ使用パルス数は24Bplsとなりました。レーザ使用パルス数が増えたことから、CoOのうち、CoCの割合が増え、図2のようになりました。また、CoCおよびCoDの詳細は図3のとおりです。CoCはモジュール別、CoDはダウンタイムタイプ別に分類しています。
図2 : CoO再計算結果(2008年実績から)
図3 : CoO再計算結果詳細
6-3. CoO削減実績
6-3-1 2007年のコスト削減実績
図4に2007年に実施したCoO削減施策と削減実績を示します。
CoCは、ケミカルフィルターの寿命とチャンバーの寿命を延長することで、14%削減しました。
CoDはガス寿命の延長と信頼性改善、また、寿命延長による交換頻度の減少により、13%削減しました。
以上の施策により、2007年の実績として、CoOは27%削減できました。
図4 : 2007年CoO削減実績
6-3-2 2008年のコスト削減実績
図5に2008年に実施したCoO削減施策と削減実績を示します。
CoCは、AMP FM/RMの寿命延長、MPL導入によるLNM寿命延長、GRYCOS導入によるチャンバー寿命延長により、更に16%削減しました。
CoDはTGM導入によるガス寿命の延長と信頼性改善、また、寿命延長による交換頻度の減少により、更に7%削減しました。
図5 : 2008年CoO削減実績
6-4. まとめ
2007年より推進してきましたCoO削減活動は、当初の計画より前倒しで目標を達成することができました。これらの活動を通して、ギガフォトンはお客様の工場での高い生産性に貢献できたと確信しております。また、ギガフォトンはCoOに対し、高い意識を持ち、着実に削減を続けていることが証明できたと考えております。
もちろん、レーザのCoO削減はこれで終わるわけではありません。ギガフォトンはお客様の高い生産性に更に貢献するために新しいCoO削減ロードマップを作成中です。これについては、また別の機会にご紹介させていただきます。
