(3) CoCの削減

3-1.　CoCの削減実績と今後の計画
図1に2007年Q1以降のCoCの削減実績と、2009年までの削減計画を示します。2007年Q1時点での消耗品により発生するコストを100%とし、削減の割合を示しています。

図1 : CoC削減実績と今後の計画

消耗品のコストはモジュールの寿命を延長することで削減します。下記にてギガフォトンが2008年Q2までに導入したモジュールの寿命延長実績と今後の削減計画を説明します。

3-2.　消耗品モジュールの寿命延長実績

3-2-1　ケミカルフィルターの寿命延長
2007年Q2よりケミカルフィルターの寿命を1年から最大3年まで延長*しました。ケミカルフィルター交換により発生するコストは他の消耗品に比較し小さいですが、消耗品の中で寿命の短いモジュールの1つであり、CoCだけでなく、CoDの観点からも寿命延長に大きな意味があると考えられます。

*ケミカルフィルターの寿命はレーザ設置環境のN2パージガスの純度により決まります。

3-2-2　チャンバの寿命延長
2007年Q3より、GT40A/GT60AのOSC/AMP双方のチャンバの寿命をそれぞれ13から20Bpls、19から30Bplsに延長しました。これはGT61Aより導入したチャンバ寿命延長技術を既存機種へ展開したものであり、GTAの共通プラットフォームの利点である新規技術の既存機展開により実現したものです。

チャンバのコストは消耗品コストの中でも大きな割合を占めており、この寿命延長によりCoCが大幅に削減(26%)されました。

3-2-3　AFM/ARMの寿命延長
2008年Q2より、AFM(Amplifier front mirror)/ARM(Amplifier rear mirror)の寿命を12から30Bplsに延長しました。この寿命延長は前項の2007年時点の削減計画にはないものですが、AFM/ARMの市場での寿命実績より、寿命について再検討を行い、延長を行いました。

以上の実績により、2008年Q2の時点で2007年Q1の時点より34%のコスト削減を実現しました。

3-3.　CoC削減、今後の計画
ギガフォトンはCoCの更なる削減を目的とし、今後新しい技術をレーザに導入していきます。ここではその新規技術について紹介します。

3-3-1　MPL
2008年Q3よりMPL(Multi Positioning LNM, LNM=Line Narrowing Module)を導入し、LNMの寿命を40から60Bplsに延長します。図2にMPLのコンセプトを示します。

LNMは主にプリズムやグレーティングという光学素子により構成されています。これらの光学素子はレーザ光が透過/反射した際、劣化します。光学素子の劣化が進行すると、透過率/反射率が低下し、LNMの効率を低下させます。この効率がある閾値を下回るとLNMを交換する必要があります。

MPLではまず図2の赤で示した光路を使用したのち、LNMの位置を下へ移動させることにより、黄色で示したこれまで使用していた部分とは異なる光路を使用します。これによりLNMの効率が回復し、LNMをより長寿命で使用することが出来ます。

図2 : MPLのコンセプト

3-3-2　GRYCOS
2008年にGRYCOS(Gigaphoton Recycled Chamber Operation System)を導入します。これによりチャンバを40Bplsまで使用できることとなり、チャンバのコスト削減が可能になります。GRYCOSのコンセプトを図3に示します。

図3 :GRYCOSのコンセプト

ギガフォトンのGTシリーズはOSCチャンバとAMPチャンバにまったく同じハードウエアのものを使用しています。また、OSCチャンバでは狭帯域化を行っているため、寿命はOSCチャンバのほうが短くなります(OSCチャンバ寿命＝20Bpls、AMPチャンバ寿命＝30Bpls)。また、AMPチャンバの寿命は現在30Bplsですが、十分にマージンのある設計となっているため、実際の寿命は40Bpls相当と試算しています。

GRYCOSではこの特徴を利用し、OSCチャンバとして寿命の20Bplsまで使用したチャンバをAMPチャンバに搭載し、更に20Bpls使用します。これによりすべてのチャンバを40Bplsまで使用することができ、従来の方式と比較し、チャンバの使用数を3分の2まで削減することが可能となります。

前述のとおり、チャンバコストは消耗品コストのうち、大きな割合を占めていることから、GRYCOS導入により、CoCの大幅な削減が可能となります。

ギガフォトンでは社内試験でGRYCOSの性能の確認を実施しました。OSCチャンバとして使用したチャンバをAMPチャンバとして使用し、Total shot数40Bplsまで使用し、主要な性能を確認し、すべて問題がないことを確認しました。表1にその結果を示します。

3-3-3　コスト削減効果
以上のMPLとGRYCOSの導入により、2009年までに52%のコストを削減していきます(図1参照)

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