(4) CoDの削減

4-1.　CoDの削減実績と今後の計画
図1に2006年Q4以降のCoDの削減実績と、2009年までの削減計画を示します。各四半期毎にレーザ起因にて発生したダウンタイムを集計した実績を示しています(ただし2008年Q2以降は実績ではなく今後の計画)

図1 : CoD削減実績と今後の計画

4-1-1　 Un-scheduled offlineからSchedule offlineへの移行
2006年のQ4の実績として四半期あたり34時間のダウンタイムが発生しています。このうち大きな割合を占めるのがUn-scheduled offline downtimeです。これはGTシリーズが本格的に量産に使用されだした際に発生した初期不具合に起因しています。このダウンタイムを削減するため、積極的な市場改修を実施し、2007年Q1には大幅なUn-scheduled offline downtime削減を実現しました。ただし、市場改修によるSchedule offline downtimeは増えています。しかしながら、生産性への影響を考慮すると、突発的なエラー発生はもっともインパクトが大きいダウンになりますので、この施策により生産性は大幅に改善したと考えられます。

4-1-2　ガス交換時間削減Step1
2008年Q1にはダウンタイムのうち大きな割合を占めていたSchedule online downtime削減のため、ガス交換によるダウンタイムの削減を実施しました。新しいソフトウエアの導入により、従来の2倍のガスライフを達成し、従来の半分のダウンタイムに改善しています。

4-1-3　TGM
今後の計画として、2008年Q3より、TGMの導入を行います。これによりSchedule online downtimeを更に削減することが可能となります。ガス交換回数は年間24回となり、従来のShot数による制限を排除し、日数での制限のみとなります。これにより大幅なダウンタイム削減を実現します。

図2にTGMのコンセプトを示します。TGMでは新しいハードウエアとソフトウエアを導入し、レーザガスの注入排気の際に発生する誤差を最小にすることにより、ガス交換間隔の延長を実現します。

図2 :TGMコンセプト

図3にTGMの性能評価の結果を示します。レーザガスの誤差が発生するとチャンバのガス圧が急峻に上昇し、上限値に達してしまいますが、TGMの導入により、2500Mpls/15日間のガスライフを実施しても圧力の上昇なども見られず、安定した性能となっていることが分かります。また、同時にレーザの主要性能を確認していますが、レーザ仕様をすべて満たしていることが確認できています。

図3 :TGM性能確認結果

4-1-4　その他のダウンタイム削減対策
ギガフォトンは、更なる市場改修、モジュール交換時間の削減、予防保全活動、レーザの自己診断機能拡充などを実施し、更なるダウンタイム削減を実施し、2009年には2006年Q4比7分の１のダウンタイムの実現を目指します。

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