浦中克己于2017年4月就任总裁。浦中自1984年进入小松企业服务之后，曾从事生产技术等工作，并于Gigaphoton创立后就任生产部长。2012年6月就任董事后，历任现地法人统括部长、经营企划部长，一直按照本公司的理念努力“提供No.1技术与质量的商品”。今后作为总裁，将不遗余力地带领Gigaphoton与各家客户及供应商一起成长。

沟口计于2012年4月就任副总裁一职。沟口自1982年进入小松企业服务之后，曾从事CO₂激光的开发业务，接着在1988年起的2年时间里，以德国哥廷根的马克斯・普朗克研究所客座研究员身份，从事准分子激光的研究工作。之后，于九州大学取得博士学位，1998年就任中央研究所激光研究部长，在日本的准分子激光研究领域中扮演重要的核心角色。由Gigaphoton创立时期开始参与经营管理，历任本公司的研究部长、开发部长、CS部长、董事CTO等职务，并此期间内推动曝光装置用的KrF激光、ArF激光、F₂激光以及EUV光源的研究开发工作，今后也将持续为本公司推动最先进的技术开发业务。
是SPIE、激光学会及应用物理学会的会员。

佐藤日出一于2011年6月就任董事一职。佐藤自1983年进入小松企业服务之后，曾从事开发、营业等业务，具备广泛领域的业务经验，且由Gigaphoton创立时期开始参与经营管理，之后历任商品企划部长、企划管理部长、总务部长、经营企划部长等职务。自2017年4月起负责改革推进、SSI推进及作为CIO、改革推进部长参与本公司的经营管理。

田中晓于2015年6月就任本公司董事一职。田中自1980年进入小松企业服务之后，担任会计、财务、管理负责人后，历任小松会计部长、印尼小松副总裁。自2017年4月起负责管理、总务及作为CFO、管理部长，参与本公司的经营管理。

斋藤隆志于2017年6月就任董事。斋藤在2000年Gigaphoton创立伊始，从Ushio电机株式会社调往本公司，先后担任过开发部副部长、客户服务部部长。2010年正式加入本公司，从2012年起至今，一直担任EUV开发部部长，致力于肩负公司未来的尖端技术开发。从2017年4月起，负责管理EUV事业推进、EUV开发、激光开发、质量保证等事务，今后将作为董事参与公司经营。

榎波龙雄于2017年6月就任董事。榎波于1996年加入小松，在Gigaphoton创立后担任过市场部主任、营业部部长，为公司发展做出了重要贡献。从2017年4月开始负责管理经营企划、营业、客户服务、生产、新加坡分公司等事务，今后将作为董事参与公司经营。