FAQ

关于 GIGAPHOTON

公司何时创设?

2000 年 8 月 1 日。

总公司所在地是?

〒323-8558 枥木县小山市横仓新田400。

除总公司外,有没有其他事业、海外据点?

包含平冢事业所在内,国内外有众多服务据点。详情请点击此处

公司资本额是?

50 亿日元。

有哪些股东?

株式会社小松制作所(100%出资)

员工有多少?

514 名(至 2013 年 4 月 1 日止)

目前还在招聘吗?

我们会视需要招聘。

公司名称的由来是?

代表了应对 Gigabit 时代的光子(Photon)。

公司标志蕴含的讯息(意义)是?

头文字的G,代表着“成长”。

想了解创设公司的背景。

曝光用准分子激光装置市场竞争日烈,为了整合日本国内准分子激光装置技术以强化商品力及顾客服务,小松制作所与优志旺电机合并准分子激光事业,创设合资公司 GIGAPHOTON(株)。

公司的主要业务是?

研发、生产、销售半导体曝光装置用准分子激光光源,并提供服务。

GIGAPHOTON 的核心技术是?

GIGAPHOTON 以曝光装置光源用准分子激光要求之能量稳定化技术以及光谱窄带宽化技术为核心:

  1. 能量稳定化技术
    KrF、ArF 准分子激光要以高达千赫兹的复现频率发射脉冲,并且达到长期高度能量稳定的特性,需要能实现激光共振腔内稳定脉冲放电的充放电技术。
    GIGAPHOTON 针对可实现高达千赫兹之复现频率的脉冲电源技术,以及可进行长寿、稳定的脉冲放电的放电技术,正在进行世界级的研发工程。
  2. 光谱窄带宽化技术
    准分子激光束的光谱带宽原本很广,在曝光装置上的成像性并不佳,故需要利用光栅(绕射光栅)的窄带宽化技术,使能维持高度光强度,并可发射称为 Sub pm 之极窄带宽 DUV 光束,达成曝光装置光学系统的要求性能。GIGAPHOTON 的窄带宽化技术,在绝对性能、长期稳定性上均为世界顶尖水平。

而生产高质量激光的技术,才是最重要的核心技术。 GIGAPHOTON 生产高质量准分子激光,用户给予我们极高度的肯定。今后亦将以全球顶级质量为目标,持续进行研发、制造、服务的质量提升活动。

公司的主力产品是?

GIGAPHOTON 在各世代曝光装置光源用准分子激光上均有相关产品推出。
4 kHz KrF 准分子激光“G40K”系列、4 KHz ArF 准分子激光“GT40A”系列,以及 6 KHz ArF 准分子激光“GT60A”系列则为目前的主力产品。

GIGAPHOTON 的客户是?

半导体曝光装置制造商以及组件制造商。

想知道贵公司最近一期的业绩(销售实绩)。

请咨询本公司业务窗口。
国内: 0285-28-8415
海外: +81-285-28-8415 或 Contact Us

想知道产品的市占率。

除在亚洲市场获得 50% 的高市占率外,欧美方面近年也有近 40% 的市占率斩获。

国内与海外的营销比是?

以 2011 年实绩来说,海外与国内是 7:3。

想知道申请“GIGAPHOTON”相关数据的方法。

除了在网站上提供产品型录下载外,也可通过咨询表格受理申请。

关于产品

GIGAPHOTON 经手的产品是?

半导体曝光装置用准分子激光光源(主机、零件)。

什么是准分子激光?

以钝气与卤素气体混合气为介质,多以脉冲放电激发的气体激光。氪氟(KrF)、氩氟(ArF)准分子激光可发射波长分别为 248 nm、193 nm 的强亮度深紫外线(DUV)光,用来作为需要高解析的最先进半导体曝光装置光源。
准分子激光束的光谱带宽原本很广,在曝光装置上的成像性并不佳,故需要利用光栅(绕射光栅)的窄带宽化技术,使能维持高度光强度,并可发射称为 Sub pm 之极窄带宽 DUV 光束,达成曝光装置光学系统的要求性能。

什么是注入锁定技术?

注入锁定技术,是以主动震荡器(Master Oscillator)低功率激发极窄光谱的激光,当该光束注入功率振荡器(Power Oscillator)增幅后,可得窄带宽高输出激光束的技术。

有哪些主要市场与使用者?

半导体生产装置市场(光刻)。市场结构可分两种。

  • OEM 供应准分子激光主机给曝光装置制造商(尼康、佳能、ASML)。
  • 使用者: 准分子激光的用户,是安装了曝光装置的半导体制造商(以“使用者”代称之)。

什么制程上会用到它?

半导体生产的光刻制程。

产品是在哪里进行研发?

产品研发是在 GIGAPHOTON 小山总公司进行,而平冢事业所则进行未来技术(EUV 光源)的研发工作。

产品名称中的缩写“G”,是什么意义?

代表了因应 Gigabit 时代“G”。

G 产品系列是什么时候开始问世?

G 系列的先驱机种,是 1993 年小松制作所时代推出的“G6”系列。

G 产品系列的最新机种是?

G41K-1H(KrF, 4 kHz)以及GT64A(ArF, 6 kHz)为目前最新系列产品。

G 产品系列的价位如何?

恕难奉告。

G 产品系列有无竞争产品?

Cymer 公司的 ELS 系列、XLA 系列、XLR 系列可谓竞争对手。

GIGAPHOTON 公司的产品优点有哪些?

  • 准分子激光的更换用零件(模块)非常昂贵,零件价格就占去了曝光装置整体运营成本的大部分比例。GIGAPHOTON 的更换用零件以长寿著名,延长更换间隔能够对使用者运营成本有所帮助。
  • 对于目前微积体回路图样上的孤立线(Isolated line)与细密图样(Dense pattern)的 CD 精度问题(ISO-DENSE-BIAS)造成巨幅影响,因而成为光刻业界注目焦点的“E95”稳定性方面,GIGAPHOTON 在技术上也遥遥领先其他公司。
  • 准分子激光乃是为了与半导体制造关键之曝光装置连接使用,需要高度可靠性。GIGAPHOTON 的激光装置一贯质量生产,能达到高运转率,有助缩短使用者端的停机时间。

如何购买贵公司的产品?

我们仅对曝光装置制造商进行 OEM 供货,并不对一般客户直接销售产品。

想知道什么是运营成本。

GIGAPHOTON 的激光装置的运营成本,采用以下两种方式计算:以使用者的使用脉冲数计费的“脉冲费用契约”,或计算期望寿命以保证作业成本(CoO:Cost of Operation)的“分配契约”。

〈脉冲费用契约概述〉
无论是否更换零件,根据客户使用脉冲数计价收费的契约。使用者定期根据脉冲数支付对价,能够稳定管理作业成本(CoO)。

〈分配契约概述〉
当激光脉冲使用超过保用年限(warranty life)但未达期望寿命(expected life),如于此时更换零件,将按比例扣除该时间点未达成的脉冲数并减价计算费用的契约。结果而言,使用者能够因此确保每一脉冲的作业成本(CoO)。

有关运营成本详情,请咨询本公司营业窗口。
日本国内: 0285-28-8415
海外:+81-285-28-8415

贵公司是否有产品租赁业务?

仅有曝光装置制造商买断产品的业务,未进行设备租赁。

目前使用的装置于新购时可否折让?

关于装置折让等业务,请咨询搭载本公司激光装置的曝光装置制造商。

改购贵公司产品时,有没有优惠项目?

本公司并未举办任何优惠项目。

想请贵公司报价。

若您有任何报价等方面的需求,请咨询本公司营业窗口(日本国内: 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

希望取得详尽产品数据以进行评估。

若您有产品数据的需求,请咨询本公司营业窗口(日本国内: 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

能否参观装置的实际操作情况?

若您有实际装置操作参观的需求,请咨询本公司营业窗口(日本国内 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

REDeeM 是什么样的产品?

“REDeem”(远程装置数据管理,Remote Equipment Data Management)是利用因特网的准分子激光远程监控系统,让顾客或曝光装置制造商能够低廉(导入/运用成本)、简便(操作性)、安全(安全性)共享激光装置运转信息,强而有力支持激光维修管理的工具。以往,半导体制造商采取将装置等数据保管于自身公司内的封闭管理体制;REDeeM 则将装置数据通过因特网保管于安全维护周全的外部服务器内,是一项开放而划时代的系统。

使用者导入 REDeeM,会有哪些好处?

导入REDeeM的客户,与半导体制造商、曝光机制造商以及 GIGAPHOTON 的 FSE、开发工程师迅速共享相同信息,飞跃提升服务响应性。
此外,对于安装台数较多的使用者而言,不仅能减轻工程师的管理负担,更能轻松实现复数台装置优化运转管理,结果而言有助于实际成本的削减。

REDeeM 的运转条件是?

REDeeM 由集中管理装置数据及应用程序的服务器单元、对服务器发布信息的激光装置单元、可浏览装置状态的客户端单元等三大部分构成。

各部分虽通过因特网连结,但以 HTTPS 通讯协议贯穿整个系统,以求实现通讯线路加密化,保障数据安全。

客户支持

想了解贵公司对制品进厂、安装、启动、定期维护、修理等的支持体制。

  • 产品的进厂、安装均由贵客户进行(我们会为您准备安装手册)。
  • 启动部分,则由曝光装置制造商进行包含曝光装置的启动。
  • 定期维护、修理由 GIGAPHOTON 的现场服务人员执行。

有没有客户支持专属窗口?

本公司在全球客户工厂的附近均开设了服务据点。各客户支持据点的联络方式,请点击此处参照。

客户支持是否全年无休?

仅为平日的 9:00am~5:00pm 时段服务(周末、节假日、新年假期则暂停服务)。此外,我们也可应对客户需求进行特殊支持。详情请咨询本公司营业窗口(日本国内 0285-28-8415、海外 +81-285-28-8420)。

是否会为使用者进行培训?

我们备有操作人员培训、指导技师培训等课程。

本地与异地培训的不同之处是?

培训的实施地点与课程内容不尽相同。

  • 本地培训是以客户工厂产线实际安装的激光装置进行培训;
  • 异地培训则在 GIGAPHOTON 小山培训中心接受讲习与实机培训。

有没有相关手册?

  • 会对导入装置的用户提供激光装置的操作手册。
  • 接受培训的使用者,将获得刻录于 CD 光盘的培训手册。

使用者如果乔迁至海外他国,是否会继续进行支持?

客户若要乔迁至海外,烦请事先与曝光装置制造商以及本公司营业窗口联系。