总经理专访

光刻的进化与 GIGAPHOTON − 渡边总经理专访

渡边总经理

本次我们以公司创立十周年纪念企划为题,邀请渡边总经理畅谈伴随光刻进化一路走来的公司足迹。经营企划室的高久担任本次专访的访谈人:

准分子激光的黎明期

渡边总经理,2010 年 8 月 1 日就是本公司创立十周年的日子,想请总经理以您的亲身体验,谈谈 GIGAPHOTON 筚路蓝缕至今的足迹。

虽然公司的历史仅仅 10 年,但本公司的技术历史可溯及更早。企业母体之一的小松制作所早在距今 30 年前的 1980 年代前半,便已着手研发全球第一台准分子激光作为曝光用光源。1984 年成功研发 90Hz KrF 激光,并且预计量产。不只有小松制作所认识到从 i 射线转移为准分子激光的大幅度技术转变将成为商机,NEC、东芝、日立等日本大型高科技企业也纷纷投入市场。光是日本国内,就成立了 10 家左右的准分子激光制造商。

1984 年,也就是 26 年前,准分子激光在当时并未成为一项成熟的商务。

是的。因此,政府也为了这个领域的商业化以及 ArF 激光技术的发展期望,启动为期 9 年(1986-1994)的国家计划。

然而,这项计划的成果并未完全运用到光刻用准分子激光的实用化。

准分子激光的技术进步了,但 i 射线灯管的改良脚步更快,准分子光源的春天依然还没降临。由于研发投资看不到回收可能,原本如雨后春笋般涌现的国内各竞争企业逐渐撤退。

抉择与决定

记得 1995 年,最后仅存的小松制作所也曾接获国家命令撤出这个业界吧。

是的。当时,我所肩负的使命势将技术与人才重新部署于其他领域。我先对于技术、市场、人才进行不带先入观的客观评估,再从结果考虑方案。但是,越调查越发现这项事业是多么前途光明。明明是要来规划解散这个集团,却让我感到终止这个计划是一项错误。而且我坚信,现在才正是积极投资让这项商机浮上台面的大好时机。

当时的总经理如何游说公司呢?

因为开始想着与公司要求完全不同方向的方案,心里已经有最坏的打算。政府决议终止的案子要加以翻案,需要有绵密的市场分析技术优越性的明证,加上从事者绝不放弃的决心。如果不能满足这三项条件,就无法成功翻案。

听说总经理在接触准分子激光之前,就是公司内扶植新事业经验最丰富的一位。

是的。当然不仅仅都是成功,失败的经验也不少,但也不讳言因而学到排除失败因素的关键技术与经验。

专访

向可信之人征求意见 − 促成决定的两个人

遇事不决时,总经理应该会向可信之人征询意见。实际上当时又是如何?

当时有两位人士令我难忘。一位是立场上应该接受我查核的实际项目领导人--沟口计博士,另一位则是当时日立中央研究所的光刻权威,也是全球知名的冈崎信次博士。

沟口博士有天约我外出吃饭,希望单独聊一聊。他对我说,“某有名大学开出教授的筹码,要求我尽快做出回复。但是说真的,我希望从事扶植准分子激光商务的工作。为了扶植准分子的商务,希望能再给我最后一次机会。我绝不放弃,直到成功为止。”他非常认真的对着我说。当时我没有立刻做出回复,但心里确认到前述三项条件已经完成了一项。实际上,我被集团内仍能维持如此高的节操给吓到了。

而准分子光源时代究竟会不会到来,也面临抉择的最重要关键。到最后,我向足以信赖的人士,也就是冈崎博士请教意见。他说,“日本最早开发准分子激光的是小松制作所,而且努力贯彻方针到了最后。牺牲虽然不小,但日本能制造光源用激光的也只剩下小松制作所一家。要是就此撤退,将成为全世界的笑柄。i 射线明显存在技术极限,搞不好明天就要换准分子激光商务上场呢。”就这样,他推了我一把。

由话中可以想象当时的总经理心情有多高兴呢。 这么一来,第一项条件“绵密的市场分析”也已经满足啰。

我真的很高兴冈崎博士提出的建言,到现在仍让我感激不尽。

以身为生产技术者的经验向世间求证

然后是最后的关卡--“技术优越性的明证”啰。这方面总经理您是如何应对呢?

我主张了自己的意见。虽然我没有评估激光本身优越性的能力,但在国内激烈的竞争市场中能够存活,足以评价其技术面的优越性。

这么说来,您判断与其他制造商的竞争并不成问题啰?

是的。我确信问题在于由产品经济性这个价值观看起来的产品强弱。也就是说,产品经济性越高,市场渗透速度也越快;反之则别说扩大市场规模,更可能被局限于限定市场,投资将无法回收。

总经理是生产技术的专家嘛。

是的。身为生产技术者,我亲身体验过当进行生产装置事业化时,产品可靠性对于竞争力贡献有多么重要。幸好,当时我负责的研究本部大柿光司本部长给予谅解与支持,状况也从谷底攀高,让当时的总经理安崎晓先生在最后批示核准了转换方针。当时虽然还是小松制作所的时代,却毋庸置疑是催生 GIGAPHOTON 的一大转折点。

当时,要是没有沟口博士的强烈信念,没有冈崎博士在后面推了那一把,就没有现在的 GIGAPHOTON 了吧。有时会回顾过去,思考着历史上的“假设(if)”情况。

专访

高可靠度赢得 50% 的全球市占率

总经理常常提到,巨幅改善产品的可靠度必将促进事业发展,并成为客户支持的重要因素。

实际准分子激光商务也是因为以巨幅改善可靠度为条件才得以重新展开,当然是真实的。1997 年,量产工厂已经落成,却很快的在当年年底推出经历严苛耐久测试并且合格的 KrF 准分子激光机 G10K。1 年之内连续运转却全无故障的激光机,用户们看在眼里都不敢相信这样的性能数字。结果,因为这项可靠度的巨幅改善,让市场上认识了能够大幅缩减运营成本并改善故障率,且能在半导体工厂稳定运转的激光机。之后,这项“高可靠度”一脉相承,自 2000 年 8 月 1 日优志旺电机与小松制作所合资设立 GIGAPHOTON 开始,又经过了 10 年,至今已是 GIGAPHOTON 的代名词。本公司达成的 50% 全球市占率,也正是高可靠度的证明。我深信,今后 GIGAPHOTON 将高举“高可靠度”的大旗,正面积极掌握光刻的进化,响应各位使用者的期许。

2010 年 9 月 18 日