都丸会长采访录

Hitoshi Tomaru

董事长
Hitoshi Tomaru

都丸会长从2012年起,连续5年担任Gigaphoton的社长,从2017年4月起就任会长。我们就社长时代的理念以及对行业整体的期待,采访了都丸会长。

-离上次的采访已经过了约3年半的时间,都丸先生也从2017年4月起,从社长升任会长,在此期间,Gigaphoton的市场份额也迅速增加。您认为是否一切顺利?

是的,其实半导体行业在最近的2、3年里,除了传统的精细化竞争以外,成本调整和缩短停工时间等显得尤为重要。特别是2015年,因氖气的全球供给危机而导致销售价格暴涨10倍以上,整个行业都面临巨大的危机,削减效用成本的时机进一步成熟了。在这股潮流中,客户对我们的成本削减提案产生了浓厚的兴趣,并重新认识到了本公司激光设备的特点-高可靠性,即“永不止步”的优点,并获得了“还是Gigaphoton好”的评价。

-请您谈谈从2016年开启的新事业(GIGANEX)。
其实从2012年开始,在我们的传统半导体光刻用电源事业稳定的情况下,就已开始考虑公司的下一个成长机会,凭借Gigaphoton的短波长特点,将输出较大的准分子激光设备技术用于其他领域。结果,在最近的2、3年内,FPD(平板显示)退火用激光设备逐渐成型。2016年,我们交付了试制机,并开始评估,2年后开始显现成果。FPD领域蕴藏了许多潜在的可能性,例如只需按下一个按钮,便可改变房屋的墙纸等,我认为该领域在今后会飞速发展。我们的准分子激光设备技术能够运用到这一领域,这让我们对未来充满期待,也令我感到非常高兴。
其实,关于过去激光设备在工业产品中的应用,由于运行成本过高、没有短波长、大输出的激光设备等原因,除了附加价值较高的产品外,几乎没有进展。但是,随着未来高附加价值加工技术的不断发展,运营成本将逐渐下降,如果能够实现与之相符的大输出,在过去认为不可能使用激光设备的领域,相信一定会出现可能性。如此一来,精密加工等过去无法实现的目标也可通过采用Gigaphoton的短波长激光设备加以实现,我们会怀着这种对行业的期待,在今后探索退火以外的新事业领域。

-您能谈谈EUV(极端紫外线光源:被称为新时代光刻用光源)吗?

关于EUV,在2016年达成了夙愿,实现了250瓦的输出和5%的转换效率(针对输入的输出量)。我们了解到,通过使用高转换效率和磁性的碎片减缓(剩余物除去技术),在理论上可实现EUV光源的高输出,最近已经成功得到验证,今后有望实现商品化。平冢的开发部门也变得更开朗了(笑)。在1、2年之前,试验依然未形成体系,从2016年秋季开始,试验机终于能够稳定运行,试验开始不断进展,并取得了各种成果,我们终于知道“这果然是有效的,过去我们所做的努力都没有白费!”。也就是说,我们EUV的特点-高转换效率和碎片减缓都获得了验证,这个概念的正确性、效果的有效性也都获得了验证。因此,今后我们将继续信心百倍地推动研究。而客户对我们的期待也日益提高,我们准备在2017年找个机会介绍这一成果,让客户看到我们的开发进度和进展。

-都丸先生,您认为Gigaphoton的优势是什么?

技术力当然是我们的优势了,但最重要的是让公司整体了解“制造”的规则,坚持团队合作,整个集体永不逃避,用于开拓的“韧性”。特别是完成研究者制作的概念,并投入量产的高度工程力是我们的财富。当然,在开发结束后,生产部门会认真制作产品,所以产品的稳定性、可靠性也是我们的优势。

-都丸先生,请谈谈您今后的梦想?

因为现在公司的事业开展得非常顺利,所以我希望在一切顺利的情况下,做一些新的尝试,尽快发现下一次的成长机会。首先是EUV、其次是GIGANEX系列,希望都能够开花结果。希望公司不仅仅局限于销售商品,同时也能够将“商品”视作核心,提供“事物”即价值。同时,为了因相信Gigaphoton而加入我们的各位同仁,希望在可以预见的30年,公司能够一如既往地茁壮成长。