Gigaphoton宣布“氖气救援计划

Gigaphoton制定综合性方案解决氖气供应危机

日本小山, 2015年7月8日--领先的光刻光源制造商Gigaphoton, Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时免费(*1)使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司最新的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。

氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括 2015年开始的供应短缺问题(*2)。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。

为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时免费使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了更全面的方案,内容包括:

  1. 为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户最快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。
  2. Gigaphoton限时免费的(*1) eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。
  3. 加速推出Gigaphoton最新的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。

Gigaphoton 总裁兼首席执行官 Hitoshi Tomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。”

(*1) 免费导入期将持续到Gigaphoton认定氖气供应问题已得到解决为止。该新闻稿中的内容基于新闻稿发表前所掌握的信息,内容如有变更,恕不另行通知。
(*2)据Gigaphoton开展的一项研究所知。

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