Gigaphoton 新激光监测解决方案 “REDeeM CloudTM”发布

提供作为开放式创新基础的应用平台

栃木县小山市; 2015 年 7 月 8 日—平版印刷光源的主要制造商 Gigaphoton 株式会社(总公司:栃 木县小山市,董事长:都丸仁)发布了全新开放式创新工具“REDeeM CloudTM”,该工具可实现该 公司半导体曝光装置用准分子激光的远程运行监测。REDeeM CloudTM通过使用最新的Web技术, 实现了高扩展性与个性化,提供可满足不同用户需求的监测功能。

Gigaphoton的激光在REDeeMCloudTM 的前身“REDeeM”的基础上,大幅缩减了停机时间,达成了平均99.88%的超高运运转率。目前前,在半导体制制造商进一步要求低成本与精细化化的背景下,Gigaphoton 一直长期致力于缩减成本和加工性能等方面的优化。为达成目标,在量产环境下实现激光运行数据监 测与详细解析的灵活应用平台不可或缺。而 REDeeM CloudTM 正是作为该要求的解决方案而开发的产 品。通过引进 REDeeM CloudTM,除了激光的普通解析数据外,通过与可选功能以及硬件相结合,还 可实现显示及解析内容的个性化定制,从而满足不同客户的环境要求。

此外,由于 REDeeM CloudTM 是以最新 Web 应用技术与自适应网页设计方式为基础开发的产品,因 此可在广泛的环境中运行,而无需依赖于 OS、器件、画面尺寸等。其使用如同通过标准浏览器访问 普通网页一般,无论是 PC 还是平板电脑或智能手机,使用均十分便利。

同时,作为 Gigaphoton 开展的开放式创新的一个环节,今后用户与合作伙伴将能够使用 REDeeM CloudTM 开发出独有的扩展功能或用户界面等。

Gigaphoton 董事长兼 CEO 都丸仁先生表示:“我很高兴我们能够面向软件开发的未来,依靠 REDeeM CloudTM 这样先进的解决方案迈出坚实的第一步。我相信,今后我们能够以 REDeeM CloudTM 为重点, 通过与各个用户及合作伙伴之间的开放式创新加快合作步伐,提供能够为半导体行业做出贡献的解决 方案。”

REDeeM CloudTM 预计自 7 月起依次向客户进行供应。

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