Gigaphoton推出新业务,接受光刻设备激光器升级订单

支持运用尖端技术对现有设备进行持续的价值提升

日本小山; 2015年10月1日--领先的光刻光源制造商Gigaphoton Inc.(总公司:日本栃木县小山市;总裁兼首席执行官:都丸仁(Hitoshi Tomaru))宣布推出一项新业务,接受激光器升级订单并提供交付。这样,公司已经运用最先进的新型号取代量产生产线中与现有曝光设备相连接的现有准分子激光器光源。从早期的KrF型号到用于ArF浸没式光刻技术的激光器,无论设备是出于哪家制造商,Gigaphoton均可对激光器进行更换,而且Gigaphoton已创造为无数客户和地点提供激光器升级的非凡业绩。

随着物联网业务的兴起,生产通信芯片传感器和微机电系统(MEMS)的200毫米晶圆代工厂的开工率得到不断提高。在这一背景下,升级现有设备以提高生产力成为日渐盛行的一大趋势。减少运营成本以及维护旧激光器造成的停机频率也成为客户面临的紧迫问题。

Gigaphoton提供的最新业务解决了这些客户的需求和挑战,即用与客户旧激光器波长相匹配的最新型号替换其旧激光器。这一激光器升级能使现有光刻设备实现更高的生产率,同时显著降低预期运营成本和停机时间。

Gigaphoton总裁兼首席执行官都丸仁表示:“大批量生产DUV光刻工艺问世已有20年的时间,如今,全球生产工厂中运转着4000多台激光器。鉴于客户对激光器升级的期待日渐提高,我们预计该市场将增长至与新激光器业务市场相当的规模。公司提供的最先进技术增强了客户设备的性能,提高了批量生产工厂的产量,同时大大降低运营成本。我们相信这是一项重大成就,符合我们为客户提供HVM(大批量制造)支持的使命。我们计划继续为提升世界各地大批量生产企业的持续价值提升贡献力量。

关于Gigaphoton
自2000年成立以来,Gigaphoton一直致力于开发和提供使用方便的高性能DUV激光器光源,其产品为全亚洲以及美国和欧洲部分地区的主要半导体制造商所采用。
光刻光源对生产率和成本/效率比至关重要的大批量制造(HVM)而言必不可少,Gigaphoton一直努力成为卓越光刻光源领域首屈一指的供应商。Gigaphoton始终专注于终端用户的需求,从研发到生产的所有领域,Gigaphoton均力争为客户提供世界一流的可靠性和符合全球标准的客户支持。
垂询详情,请访问:www.gigaphoton.com

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