Gigaphoton–半导体制造设备解析专用下一代开放平台

凭借统合所有半导体制造设备的数据,实现广范围的解析和评价,进而对行业做出新贡献

光刻主要制造商Gigaphoton株式会社 (总公司:栃木县小山市,董事长社长:浦中克己)宣布,将于3月开始提供下一代解决方案“FABSCAPE™”,以用于半导体曝光设备的运转监测及解析。

对许多半导体制造商来说,收集、解析及活用多种设备所输出的大量数据是一项艰巨的任务,长久以来是一项待解决的课题。Gigaphoton所开发的FABSCAPE™是一开放平台,其目的是为了能统一处理任何制造商的数据而开发的。通过在FABSCAPE™上扩展插件及驱动程序,能实现所有设备数据的统一化,用户可在同样条件下更为广范地解析和评价不同设备之间的重要性能数据。

此外,FABSCAPE™还支持用户通过开发组合各种功能的插件及驱动程序,根据各自的需求实现应用软件的优化。

今后Gigaphoton除了可视化工具之外,还将利用以光刻设备( litho cell)为单位并能自动优化维护日程表的“AMAX™”插件和AI引擎提供自动化专用插件。

除此之外,针对同时开发数据统一化解决方案的半导体制造商、设备制造商及其他机关,Gigaphoton计划在线提供FABSCAPE™。此外,还将提供API、示例代码、教程、研讨会等面向开发者的丰富工具,不断促进FABSCAPE™开放平台的普及。

Gigaphoton的董事长社长兼CEO浦中克己发言表示:“作为一家供应商,解决客户的问题是我们每天重要的任务,但是同时我们也认为,针对不同客户所遇到的特殊问题,提供定制解决方案以供客户自行简单迅速解决问题也是至关重要的。FABSCAPE™是一款大胆的开放式软体,通过与行业内外的合作伙伴共同合作,客户能够更加深入地理解设备的数据,并对其进行统一处理。我们相信,通过将FABSCAPE™作为桥梁的创新,必定能对行业做出新的贡献。”

*于2018年2月25日~3月1日在加州San Jose举办的“SPIE Advanced Lithography”Session10(3月1日),将会对“FABSCAPE™”做具体介绍。

Gigaphoton公司成立于2000年,作为一家激光器的供应商,自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:www.gigaphoton.com。

 

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