斋藤董事采访

董事 常务执行董事
Takashi Saito

斋藤董事于2017年6月就任董事。2000年,Gigaphoton与优志旺电机开始创办合资企业(2011年解散),斋藤从优志旺电机调往Gigaphoton后转为Gigaphoton的正式员工。曾任开发部副部长、客户支持(CS)部部长,现任EUV开发部部长,同时担任分管激光开发、品质保证的负责人。本次,我们采访了本公司技术开发的关键人物斋藤先生。

―斋藤先生担任董事已经一年半了,您认为现在公司面临怎样的课题呢?

进入经营决策层,对公司课题的认识比以前更加明确了。短期课题是强化光刻准分子激光(DUV)的竞争力。重点是零部件的长寿命化、能量和波长的稳定性。另外,当务之急是培养能够很好地与现场服务工程师(FSE)和当地法人进行沟通的全球化人才。长期课题是接下来的新业务开展和EUV*的开发。现有的DUV业务很顺利,我想这段时间是个很好的机会。当前需要开发面向平板显示器(FPD)的激光退火业务,并向其它领域发起挑战。不仅仅是光源业务,另外也播下了像FABSCAPE那样的分析用软件的种子,希望它能够早点成为支柱业务之一。关键是能够坚持不懈地做好EUV业务。希望能够充分发挥Gigafton的优势,尽快将其做成商务。

 
 
―作为EUV开发部长,请斋藤先生谈谈您对EUV的想法。

在光刻行业,新一代光源毫无疑问是EUV,如果没有EUV,对于光源制造厂来说就不能算是最尖端企业。估计在数年后,当DUV实现商品化,全世界都是EUV而自己却没有时,那就失去了在光刻行业生存下去的内在动力。为了避免这一点,我呼吁充分运用本公司的碎片缓解技术,尽快打开局面。

―从开始EUV开发算起,已超过15年了吧。

是啊。就算是DUV,如果象现在一样能够见到效益,大概也需要花费30年左右的时间。小松从2003年左右就开始了EUV研究,而我们公司着手进行研究和开发是在2011年解除了与优志旺的合资之后。虽然历史悠久,但从真正开始开发这层意义上来说,还是最近的事情。在我看来,与DUV相比,EUV在费用方面大不相同,对于本公司的规模来说,这是一项大生意,利用有限的研究经费把这项工作做到现在,我们的精英们做得很好。

―您认为Gigaphoton的强项是什么?

我们是一家成立不到20年的公司,刚成立时的成员依然还在,我觉得这是件好事。作为公司的财产,如何把这些人留下的大多数成果进一步发扬光大,我认为这也是一个重要的课题。另外,随着公司的迅速发展,从其他公司也来了很多人,其中有几个人还是目前Gigaphoton的核心人物。这样,在公司的成长过程中,能够很好地吸取外来的血液,这也可以说是我们的一大优势吧。公司高层和负责人员之间没有隔阂,公司充满着自由的风气。另有光刻行业的著名传奇人物担任本公司顾问,我认为这也是一件很好的事情。从这些人那里能够学到很多东西,特别是从事研究开发的人员,我希望他们能向这些顾问们多多学习。

―到现在为止,您对自己所经历的事情印象最深的是什么?

首先是2001年我担任开发工作的产品经理时,为现在的业界最大公司OEM开发出了单室方式的ArF准分子激光器。遗憾的是这款产品并不畅销,但是我认为那时候构筑起来的关系与后来双室激光器的销售紧密相连,并且打下了与客户建立良好关系的坚实基础。另外,从2007年开始的5年时间里,我先后担任了CS部的副部长、部长。之前我都是专心从事开发工作,担任领导工作后,刚开始有好多事情都不明白。现在无法想象的是,刚调到CS部的时候有零部件的盘点,那时候,由于一部分业务程序并不完善,出现了很大的差异。尽管如此,当时我心想:“盘点就是这样的吧?”,还是接受了那个盘点报告。当我得知这是异常情况后,我马上将其恢复到正常状态。调动当初完全没有库存管理的感觉,在一瞬间对那种异常没有实际感觉。多亏有了CS部的工作经验,让我学到了销售、服务、库存管理、出口管理、公司的经营体制等知识,觉得非常好。

―最后,请齐藤先生谈谈您的梦想。

首先,在工作方面,希望Gigaphoton将来能够成为销售额达到1000亿日元的企业。我想其中的关键还是EUV。如果EUV也能做到像现在的DUV一样,就能够实现这一目标。个人生活方面,每年都与家人和朋友去露营,已经持续了大约20年,不过,最近孩子长大了,各种准备工作几乎都是他们完成的。因此,我打算接下来体验一下夫妻二人的野营车旅行。然后乘坐各地的豪华列车旅行也不错。如果能够拥有闲暇时光,那我刚才说的目标就能够实现。

*EUV)是一种采用被称为极端紫外线(EUV)的、波长非常短(13.5 nm)的光的光刻度技术,通过使用EUV光源,能够进行更微细的加工。