Gigaphoton公司发布了世界上最大输出级的KrF激光机G45K

2019年2月22日

对最尖端存储芯片生产率的提高作出了极大的贡献

栃木县小山市;2019年2月22日 — 半导体光刻光源制造商GIGAPHOTON株式会社(总部:栃木县小山市、董事长兼总经理:浦中克己)宣布,自2019年3月开始出产世界上最大输出级KrF激光机G45K,它将有助于进一步提高最尖端存储芯片的生产效率。

随着近年来物联网和人工智能的普及,据说近年来世界上的信息数据量已经增长了十倍。 为了解决这个问题,芯片制造商正致力于提高最尖端的高度集成存储芯片的生产率。在光刻工艺中,作为光源的KrF激光机的输出功率直接有助于提高生产率,因此一直被期望实现更高的输出。

为了应对这样的需求,Gigaphoton的KrF激光器G45K输出功率达到了50W,比传统型号提高了25%以上,使得最尖端的存储芯片能够实现更高效率的生产。此外,通过将装置中主要模块的使用寿命延长20%,能够大幅减少维护停机的时间,同时也有助于提高生产率。此外,关于Gigaphoton的绿色技术,和传统型号相同,“无氦气”作为标准装备,适用“hTGM(氖气回收系统)”,能够有效降低运营成本。

Gigaphoton的董事总经理兼CEO浦中克己先生表示:“随着物联网和人工智能的迅速普及,提高最尖端存储芯片的生产率是我们的客户芯片制造商的当务之急。Gigaphoton的KrF激光机G45K实现了世界上最大级的输出功率,并且通过延长模块的寿命节省了停机时间,我们相信这些将对客户的高效生产作出贡献。”

 
GIGAPHOTON公司简介

GIGAPHOTON公司成立于2000年,作为一家激光器的供应商,自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:www.gigaphoton.com
 
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