Gigaphoton出厂最新机型KrF光源“G60K”

时隔15年的全新改款、实现1.5倍的高输出

栃木县小山市;2020年11月4日,半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社(总部: 栃木县小山市、董事长兼总经理: 浦中克己)宣布,新型KrF曝光机用光源“G60K”已于10月29日出厂。

新型KrF光源“G60K”时隔约15年,通过全新改款及引进新型电源单元,实现了60W的输出功率,相当于传统功率的1.5倍。从而最大可实现提高150%的扫描仪生产效率。另外,“G60K”的机身采用了兼具可扩展性的新平台,并支持为支持未来KrF扫描仪的生产效率扩展的光源性能改进。

目前,传统的KrF用光源存在以下难题,即以高输出实现高处理速度,而模块更换次数增多而导致停机时间增加,最终造成设备Availability下降。“G60K”凭借其新技术,在不增加停机时间的情况下,成功实现了高输出功率和高Availability。并对于高能量光刻层也实现了最大处理速度。

Gigaphoton董事长兼总经理浦中克己表示:“Gigaphoton的KrF光源是一款融合我们技术和经验的产品,长期以来一直受到客户的高度评价。我坚信,此次时隔15年全新改款的G60K将在制造现场高效运行,进一步提高客户的生产效率。Gigaphoton将继续提供实现生产力最大化的产品和服务。”

GIGAPHOTON公司简介

GIGAPHOTON公司成立于2000年,作为一家激光器的供应商,自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:https://www.gigaphoton.com/cs/

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