产品

2001 年,GIGAPHOTON 领先世界,实现了可激发 4 kHz 高频之量产型 ArF 准分子激光机商品化。其后更连续向市场供应了支持高功能曝光装置的最新型 ArF 准分子激光机,在 Gigabit 世代超威积体回路的光刻技术发展方面多有贡献。

此外,KrF 准分子雷射以其丰富产品线及高性能、高质量、高实惠性广获佳评,成为全球各曝光装置制造业者技术竞争力的后盾。

Gigaphoton DUV in Lithography Light Source:

Gigaphoton EUV in Lithography Light Source: