G41A

支持 100nm 技术节点的 4 kHz ArF 准分子激光机

GT41A

主要特色

  • 全新设计的固体脉冲电源,可发射频率 4000 Hz 的激射光,达到 20W 的高产
  • 继承 GIGAPHOTON KrF 激射(G10K/G20K 系列)的高可靠性设计

主要规格*

发射波长 193 nm
平均输出功率 20 W
脉冲能量 5.0 mj
发射频率 4,000 Hz
光谱线宽(FWHM) 0.35 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 0.85 pm
(*) 上述各规格值为代表值