G42A

支持 80nm 技术节点的 4 kHz ArF准分子激光机

GT41A

主要特色

  • 以 G41A 机型为基础,改良光谱宽度(半高宽),将 G41A 的 0.35 pm 改进至 0.3 pm,可支持 80nm 设计节点
  • 各模块采用高耐久性零件延长使用寿命,大幅减低 CoO
  • 激射共振腔:电极处采用高耐久性零件
  • 窄带宽化模块、监视器模块等:光学零件采用高耐久性材料

主要规格*

发射波长 193 nm
平均输出功率 20 W
脉冲能量 5.0 mj
发射频率 4,000 Hz
光谱线宽(FWHM) 0.3 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 0.75 pm
(*) 上述各规格值为代表值