GT40A

支持 65nm 或更新技术节点的新产品--4 kHz ArF 准分子激光机

GT40A

本装置为世界首创采用注入锁定技术的曝光装置用光源机型,让以往认为两难的狭隘光谱与高输出功率得以并存。且因发射低峰值脉冲能量减轻对光学系统的伤害,所控制的运行成本达到业界顶尖等级。此外,除搭载新开发的高级自我诊断功能(self diagnosis)外,还大幅改善模块更换性等服务性,达成高可靠性、高劳动效率。


GT40A的特色

1. 注入锁定(Injection-locked)激射
领先业界首次将注入锁定技术(*)引进量产机型,可达 45 W 的高输出功率,能高稳定发射半宽度达 0.2 pm、E95 达 0.5 pm 的光谱线宽 DUV 激射光,为业界顶级水平。并且实现了低峰值脉冲能量,减轻了对激射以及曝光装置光学系统的伤害。

(*)注入锁定技术是将调整为极窄光谱宽度发射的低功率激射光(Master),注入高输出功率的激射共振器(Amplifier),经过激射共振增幅,令以往认为难以同时实现的狭隘频谱与高输出功率得以并存的技术。

2. 业界顶级的低运行成本
注入锁定技术能减少对激射光学零件的负担,更因系统结构精致化,大幅减低耗材(模块)的种类及更换频率。以结果而言,实现了业界顶级的低运行成本。

3. 高可靠性、高运转性设计
除了新开发的高级自我诊断功能(self diagnosis)外,更大幅改善模块更换性等服务性,达到半导体工厂所需的高可靠性、高劳动效率。

主要规格*
发射波长 193 nm
平均输出功率 45 W
脉冲能量 11.25 mj
发射频率 4,000 Hz
光谱线宽(FWHM) 0.2 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 0.5 pm
(*) 上述各规格值为代表值