GT45A

采用GT65A最先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率(晶圆输出)


 

GT45A是一款基于最先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型。
通过搭载最新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。
通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率,满足客户的多样化需求。


特色

1. 延长模块寿命
标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率,提高生产率。

2. 高功能扩展性
可以搭载GT65A可使用的功能和技术。


主要规格*
发射波长 193 nm
平均输出功率 45 - 90 W
脉冲能量 11.25 - 15 mJ
发射频率 4,000 - 6,000 Hz
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,) ≤0.5 pm
(*) 上述各规格值为代表值