GT60A

支持 45nm 或更新技术节点的新产品--6 kHz ArF 准分子激光机

GT60A

GT40A 量产出货未满一年,GIGAPHOTON 成功研发大幅提升输出功率且发射频率达 1.5 倍(6,000 Hz)的 GT60A 机种。GT60A 与 GT40A 同样采注入锁定方式,即所谓第二代 GT(GigaTwin)平台。GT40A 已获得全球各国主要客户采购,其设计构思、可靠性均获高度评价。GT60A 的平台设计与 GT40A 系出同门,寻求极限共享化,对用户而言,从装置引进起便能期待高度可靠性。


特色

1. 高输出、高发射频率
经改良发射频率可达 4,000 Hz 的 GT40A 机型后,效率大幅提升,在相同平台达到 6,000 Hz 的发射频率。如此一来,虽然抑制了每次脉冲所需的能量,输出功率依然提升了 33% 以上,达到 60W。频率与输出大幅获得改善,但支持曝光装置分辨率的频谱仍能确保与 GT40A 同等性能。

2. 可靠性、稳定性
以实绩卓越的 GT40A 的平台进行设计,寻求极限共享化,从装置导入起便能期待高度可靠性,能让您安心使用。
此外,除了 GT40A 新导入的高级自我诊断功能外,还新增提升装置有效性(Availability)的参数优化功能。可确保包含 GT 系列最大的优势--模块可交换性在内的服务性,并实现半导体工厂不可或缺的高可靠性、高劳动效率。

主要规格*
发射波长 193 nm
平均输出功率 60 W
脉冲能量 10.0 mj
发射频率 6,000 Hz
光谱线宽(FWHM) 0.2 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 0.5 pm
(*) 上述各规格值为代表值