G41K-1H

支持 130nm 以下技术节点的 4 kHz ArF 准分子激光机

G41K-1H

为 4kHz KrF 准分子激光机系列第 2 代机型 G41K 标准加载磁浮激射共振腔、高效率 LNM、MM 的机型。
高效率得到进一步提升,达到 40W 的输出功率。支持需要更高用量的先进曝光制作程序。光学模块达到 300亿脉冲长使用寿命化(与本公司 G41K 机种相比约提升 50 %)。
G41K 可藉由现场更换模块升级为 G41K-1H。


主要特色

  • 效率较 G41K 更高,达到 40W 高输出功率/超低CoO
  • TGM 软件导入,可延长气体使用寿命达 100%
  • 市场上运转的激射装置数以百计,具有压倒性高可靠度

主要规格*

发射波长 248 nm
平均输出功率 40 W
脉冲能量 10.0 mj
发射频率 4,000 Hz
光谱幅度(FWHM) 0.35 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95) 1.1 pm
(*) 上述各规格值为代表值