G45K

支持50W的4kHz KrF准分子激光器

 

4kHz KrF准分子激光器系列的第3代机型G45K,是一款旨在提高最尖端存储芯片的生产效率、功率最高可达50W的高功率机型。该机型通过延长模块的使用寿命和绿色技术,可以同时实现“提高生产率”和“减轻环境负荷”两大目标。


特色

1. 高输出
输出功率高达50W,同比传统型号提高了25%。有助于提高最尖端存储芯片的生产效率。

2. 延长模块的使用寿命
通过将装置中主要模块的使用寿命延长20%,减少了维护停机的时间。同时还有助于提高生产率。

3. 绿色技术
“无氦气”作为标配装备,可以确保装置运行期间氦气的使用量为零,并通过连接氖气回收系统“hTGM”,有助于降低运营成本和减轻环境负荷。


主要规格*
发射波长 248 nm
平均输出功率 40 W – 50 W
脉冲能量 10.0 - 12.5 mJ
发射频率 4,000 Hz
光谱幅度(FWHM) 0.35 pm
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,) 1.1 pm
(*) 上述各规格值为代表值